N7201A589C.pdf - 第293页
NPM-D3 EJM6DC-MB-04T-01 4-1 -2 设备部 M504 M503 B1033 R5001 G102 R4212 B1222 B1A04 M501 M502 B1212 R4202 G101 G111 G201 R4234 R4230 负 荷 配 置 图
NPM-D3 EJM6DC-MB-04T-01
4-1-1
负荷配置图 1
故障排除篇
4-1
前侧 后侧
全体安全盖
料架工作台盖
前侧：B1200T
后侧：B1204T
前侧：B1201
后侧：B1205
前侧：B1202T
后侧：B1206T
前侧：B1203
后侧：B1207
前侧：B1200
后侧：B1204
前侧：B1201T
后侧：B1205T
前侧：B1202
后侧：B1206
前侧：B1203T
后侧：B1207T
前侧：S401
后侧：S403
前侧：S402
后侧：S404
S301
B1020
S302
S303
S304
B1210
S3211
R4200
R4201
B1021
B1216
S3217
R4210
R4211
G103
NPM-D3 EJM6DC-MB-04T-01
4-1-2
设备部
M504
M503
B1033
R5001
G102
R4212
B1222
B1A04
M501
M502
B1212
R4202
G101
G111
G201
R4234
R4230
负
荷
配
置
图
NPM-D3 EJM6DC-MB-04T-01
4-1-3
基板传送带
基板支架
负荷配置图 2
故障排除篇
4-1
M636
B1130
B1126
B1117
B1124
B1112
B1134
B1132
B1133
M607
M638
B1120
B1121
B1115
B1122
B1113
B1136
B1131
B1127
B1C03
B1C00
M602
M603
M635
M634
B1C02
B1D01
M601
M609
M63C
B1D00
B1C01
B1244
B1245
R4134
R4135
B1235
B1236
R4136
R4137