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Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 3 Technische Daten Ausgabe 08/2011 DE 3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) 157 Abb. 3.7 - 13 V ersorgungseinheit des SWS von vorne 3 (1) Elektroeinschub vorne (2) Computereinheit (3) Trafo (4…
3 Technische Daten Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ausgabe 08/2011 DE
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3.7.5 Baugruppenübersichten
Abb. 3.7 - 12 Übersicht SWS
3
(1) Greifer (2) Flip-Unit
(3) Einbauplatz für Optionen (Die-Attach Unit
oder Linear Dipping Unit)
(4) Die-Ejector
(5) Versorgungseinheit (6) XY-Unit
(7) Magazin-Lift
1
2
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4
5
6
7
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 3 Technische Daten
Ausgabe 08/2011 DE 3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS)
157
Abb. 3.7 - 13 Versorgungseinheit des SWS von vorne
3
(1) Elektroeinschub vorne (2) Computereinheit
(3) Trafo (4) Druckschalter
(5) Netzfilter (6) Magnetventil
(7) Abdeckung
3
2
1
7
6
5
4
3 Technische Daten Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ausgabe 08/2011 DE
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Abb. 3.7 - 14 Baugruppenübersicht des SWS
(1) Klemmeinheit (2) Wafer-Kamera
(3) Flip-Unit (4) Wafer-Aufnahme
(5) Führung
4
3
1
2
5