00195940-03-UM SiplaceCA-DE.pdf - 第158页
3 Technische Daten Betriebsanleitung SIPLACE CA-Ser ie 3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ausgabe 08/2011 DE 158 Abb. 3.7 - 14 Baugruppenübersicht des SWS (1) Klemmeinheit (2) W afer-Kamer a (3) Flip-Unit (4) W afer-Au fnahm…
Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie 3 Technische Daten
Ausgabe 08/2011 DE 3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS)
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Abb. 3.7 - 13 Versorgungseinheit des SWS von vorne
3
(1) Elektroeinschub vorne (2) Computereinheit
(3) Trafo (4) Druckschalter
(5) Netzfilter (6) Magnetventil
(7) Abdeckung
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3 Technische Daten Betriebsanleitung SIPLACE CA-Serie
3.7 SIPLACE Wafer-System (SWS) Ausgabe 08/2011 DE
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Abb. 3.7 - 14 Baugruppenübersicht des SWS
(1) Klemmeinheit (2) Wafer-Kamera
(3) Flip-Unit (4) Wafer-Aufnahme
(5) Führung
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1
2
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3.7.6 Beschreibung der SWS-Baugruppen
3.7.6.1 Versorgungseinheit
Abb. 3.7 - 15 Versorgungseinheit
3
(1) Manometer Druckluftversorgung (2) Spannungsversorgung
(3) Kommunikation mit SIPLACE-Automat (4) CAN-Bus
(5) Druckluftanschluss (abgewandelter Adap-
ter Blindstecker [03011592-01])
(6) LAN1
(7) LAN2
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