FX-3_（管理员操作说明书）Operation_Manual2_Rev00_C.pdf - 第196页
操作手册 II Rev00 2-157 (3) 状态 逐项显示当前的基板传送内容及动作状况。 图 2-5-4-1-1-5 基板传送画面 状态 ·按< START >开关或“执行”按钮进行传送。 ·要结束操作时，请按“关闭”按钮。 ·在传送过程中因某种原因想取消操作时，可按< STOP >开关停止。 2-5-4-1-2 自动调整基板宽度 可调整基板传送宽度。 选择菜单后，显示如下的画面。 图 2-5-4-1-2-1…
操作手册 II Rev00
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(1) 操作
图 2-5-4-1-1-3 基板传送画面 操作
1)传送动作
选择传送动作。可选择搬入、搬出基板、释放基板、重夹。
启动时（默认）选择“搬入”。
2)运行站点
可选择执行传送动作的站点。
默认选择入口站点。
3)搬入后的 BOC 校准设置
选择基板刚搬入后是否立即执行 BOC 校准。
● “按选项执行”
按照操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。
● “必须执行”
必须进行 BOC 标记识别。
● “不执行”
不执行 BOC 标记识别。
4)基板基准、传送方向
显示传送道路信息。
(2) 显示传送动作
图 2-5-4-1-1-4 基板传送画面 显示传送动作
以图形化显示设定的传送动作，以及在操作站点传送状态的变化。
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(3) 状态
逐项显示当前的基板传送内容及动作状况。
图 2-5-4-1-1-5 基板传送画面 状态
·按< START >开关或“执行”按钮进行传送。
·要结束操作时，请按“关闭”按钮。
·在传送过程中因某种原因想取消操作时，可按< STOP >开关停止。
2-5-4-1-2 自动调整基板宽度
可调整基板传送宽度。
选择菜单后，显示如下的画面。
图 2-5-4-1-2-1 基板宽度的自动调整
(1) 移动基板幅度（调整基板宽度）
将传送宽度向基板外形尺寸+余宽的位置移动。运行时传送宽度值适用以下项目的设定值。
<步骤>
① 输入基板外形尺寸。
② 需要变更余宽时，请设
置余宽。
③ 单击“移动”。
(未进行“宽度回原点”
时，应先进行宽度回原
点)。
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(2) 基板外形尺寸
设定基板外形尺寸。初始值设定为基板数据中的基板外形尺寸(Y)。
(3) 余宽
设置基板与传送轨道之间的余宽。
余宽适用于生产条件。
(4) 动作状态
显示移动时、宽度回原点时、传送道路上的动作状态。
(5) 说明
显示功能的概要说明。
(6) “基板传送”按钮
调出基板传送画面。
(7) “宽度回原点”按钮
基板宽度自动调整返回原点。