松下NPM-D3故障排除手册_250F3.pdf - 第162页
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-06 46 试点胶识别的内部处理异常。 ( 内部工作的内存发生异常。 ) 请确认错误发生时的状况和错误内容 , 并联系本公司。 43524 基板搬入时超时。 ( 发生了基板搬入错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检 出 传感器的状态。 2) 请确认传送带的宽度。 44000 基板搬出时超时。 ( 发生了基板搬出错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的…
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-06
( )
( )
( )
( )
试点胶识别数据的总面积容
许下限值不正确。
(识别参数（面积容许下限）
发生异常。)
请确认总面积容许下限值。再次发生
时请联系本公司。
43520
试点胶识别数据的总面积容
许上限值不正确。
(识别参数（面积容许上限）
发生异常。)
请确认总面积容许上限值。再次发生
时请联系本公司。
43521
试点胶识别数据的大小面积
比容许值不正确。
(识别参数（大小面积比）发
生异常)
请确认大小面积比容许值。再次发生
时请联系本公司。
43522
试点胶识别数据的基准面积不
正确。
(识别参数（基准面积）发生
异常。)
请确认基准面积值。再次发生时请联
系本公司。
43523
2-1-3
-90
错
误
对
策
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46
试点胶识别的内部处理异常。
(内部工作的内存发生异常。)
请确认错误发生时的状况和错误内容,
并联系本公司。
43524
基板搬入时超时。
(发生了基板搬入错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44000
基板搬出时超时。
(发生了基板搬出错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44001
2-1-3
-91
错误
信息
故障排除篇
2-1-3
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-06
OFF
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44002
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值。
44003
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44004
2-1-3
-92
错
误
对
策