松下NPM-D3故障排除手册_250F3.pdf - 第164页
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-06 ON 47 基板搬入时由于越限检出传 感器没有打开。 ( 基板搬入时越限传感器发生 异常。 ) 请确认传送带上的基板和基板检测传 感器的状态。 44005 基板搬入时由于越限检出停 止位置传感器关闭了。 ( 基板搬入时发生了基板位置 决定错误。 ) 请确认传送带上的基板和基板检测传 感器的状态。 44006 机器间的中间待机搬送时后 工序机器的基板要求信号没 有打开。 ( 机器间的中间待机…
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OFF
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44002
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值。
44003
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44004
2-1-3
-92
错
误
对
策
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ON
47
基板搬入时由于越限检出传
感器没有打开。
(基板搬入时越限传感器发生
异常。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44005
基板搬入时由于越限检出停
止位置传感器关闭了。
(基板搬入时发生了基板位置
决定错误。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44006
机器间的中间待机搬送时后
工序机器的基板要求信号没
有打开。
(机器间的中间待机搬送发生
了超时)
请实施其中某个对策。
1)请确认机器间的同步确认信号和中
间待机确认信号的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
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2-1-3
-93
错误
信息
故障排除篇
2-1-3
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-06
基板搬送时基板信息的交接
错误。
(基板信息的交接发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
44008
基板搬出时基板信息的移动
等待发生了超时。
(基板信息的通信发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
44009
2-1-3
-94
错
误
对
策