松下NPM-D3故障排除手册_250F3.pdf - 第163页
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-06 OFF 基板搬出后停止位置传感器 打开了。 ( 发生了基板搬出后传感器异 常。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检 出 传感器的状态。 2) 请确认传送带的宽度。 44002 基板排出后后工序机器的基 板要求信号在设定时间内没 有关闭。 ( 发生了后工序要求关闭等待 超时。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检 出 传感器的状态。 2) 请…
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试点胶识别的内部处理异常。
(内部工作的内存发生异常。)
请确认错误发生时的状况和错误内容,
并联系本公司。
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基板搬入时超时。
(发生了基板搬入错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44000
基板搬出时超时。
(发生了基板搬出错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
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错误
信息
故障排除篇
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NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-06
OFF
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度。
44002
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值。
44003
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
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错
误
对
策
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ON
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基板搬入时由于越限检出传
感器没有打开。
(基板搬入时越限传感器发生
异常。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44005
基板搬入时由于越限检出停
止位置传感器关闭了。
(基板搬入时发生了基板位置
决定错误。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态。
44006
机器间的中间待机搬送时后
工序机器的基板要求信号没
有打开。
(机器间的中间待机搬送发生
了超时)
请实施其中某个对策。
1)请确认机器间的同步确认信号和中
间待机确认信号的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司。
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错误
信息
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