松下NPM-D3故障排除手册_250F3.pdf - 第67页
NPM-D3 EJM6DC-MB-02T-06 2-1-2 -42 可考虑以下某种原因。 1) 基板吸着真空泵出现故障。 2) 热继电器的保护电流值设定 有错误。 ( 发生了自我诊断错误。 ) 重新设定热继电器保护电流值 , 在 ,[ 机 器 ]-[ 调整 ]-[ 全体 ]-[ 输出确认 ] 画面中确 认基板吸着真空泵的动 作。确认有异 常时请联系本公司。 40136 由于是客户开发的特殊系统 有单一停止要求。 ( 发生了自我诊断错误。…
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错误
信息
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Y
( )
Y
( )
2
主机顶部的风扇停止。
(发生了自我诊断错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认风扇中是否有障碍物相互干
扰
2)请检查线路中是否有线脱落。
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在XY单元动作范围内相对方
向的XY单元停止动作。
(发生了自我诊断错误。)
请手动把相对方向的XY单元移动到
原点位置。
40133
相对方向的XY单元从退避位
置脱离。
(发生了自我诊断错误。)
请手动把相对方向的XY单元移动到
退避位置。退避位置是在Y轴上贴着
的白色标签处。请把XY单元移动到
白色标签说明的位置。
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安全继电器复位异常。因为
安全盖一瞬间变成闭状态,安
全继电器不能复位。
(发生了自我诊断错误。)
前侧或者后侧的安全盖暂且开大一点
然后关闭。
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可考虑以下某种原因。
1)基板吸着真空泵出现故障。
2)热继电器的保护电流值设定
有错误。
(发生了自我诊断错误。)
重新设定热继电器保护电流值,在,[机
器]-[调整]-[全体]-[输出确认]画面中确
认基板吸着真空泵的动作。确认有异
常时请联系本公司。
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由于是客户开发的特殊系统
有单一停止要求。
(发生了自我诊断错误。)
请解除由客户开发的特殊系统所发出
的单一停止要求。在[机器]-[调整]-[全
体]-[输入确认]画面中可以确认单一
停止输入状态。
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错
误
对
策
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错误
信息
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没有供料器盖或是没有安装
托盘供料器。或者是当托盘
供料器/交换台车切换规格时，
传感器切换部把手的设定不
一致。
(发生了自我诊断错误。)
请实施其中某个对策。
1)使用整体交换台车时,请安装供料
器盖。
2)使用托盘供料器时,安装托盘供料
器后,请将钥匙插入托盘供料器检
出开关。
3)当是托盘供料器/交换台车切换规
格时，请将传感器切换部把手的设
定设成一致。
4)再发生时,请在[机器]-[调整]-[全体]-
[输入确认]画面中确认供料器盖以
及托盘检出开关的连接。
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机器-LNB-ISS(检查服务器软
件)间的通信状态异常。
(发生了自我诊断错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认机器-LNB间，LNB-ISS间
的通信系统。
2)请确认LNB与ISS的状态或设定。
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