4OM-1732-004Y2_F8_维护保养&故障处理.pdf - 第136页
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6. 扩散板组装治具的使用方法
6. 扩散板组装治具的使用方法
Procedure
(1)同时暂时固定内侧和外侧扩散板。
外侧扩散板
内侧扩散板
Fig.4A6-1
(2)如图在 3 处安装治具 1、2。
注意不要损伤线传感器。
治具 1 治具 2
Fig.4A6-2
(3)用螺栓固定扩散板后，拆卸治具 1、2。
Fig.4A6-3
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7. 消耗元件和重要保修元件
7. 消耗元件和重要保修元件
7.1 消耗元件列表
一年内可能消耗完的元件列表。
购买时，请联系株式会社日立高新技术的营业部门或销售代理店。
Table 4A7-1
品名 元件编号 元件名 使用数 建议更换
周期
建议数 / 年
Note(a)
备注
吸嘴 (HV82C)
吸嘴 (HG82C)
KYA-M7782-A0
HV82C---
ASSY_NOZZLE(HV82C) 30 1年 30
吸嘴 (HV13C)
吸嘴 (HG13C)
KYA-M7713-A0
HV13C---
ASSY_NOZZLE(HV13C) 30 1年 30
吸嘴 (HA14C)
吸嘴 (HG14C)
KYA-M7714-A0
HV14C---
ASSY_NOZZLE(HV14C) 30 1年 30
吸嘴 (HG33C) KYA-M7703-A0
HG33C---
ASSY_NOZZLE(HG33C) 30 1年 30
吸嘴 (HG52C) KYA-M7705-00
HG52C---
ASSY_NOZZLE(HG52C) 30 1年 30
吸嘴 (HG24C) KYA-M7702-A0
HG24C---
ASSY_NOZZLE(HG24C) 30 1年 30
真空过滤器 KYB-M704D-00
225B0572
AIR_CLEAN_EQPT 120 3 个月 480
吸嘴过滤器 KYA-M7702-10
225A0045
AIR CLEAN EQPT 60 1周 2880 Note
(e)
Note
(a)建议数为参考值。
(b)有关元件的更换方法，请参照
“
第一章3. 维护保养部位
”
章节。
(c)建议更换周期并非表示产品的保修期。
建议更换周期根据产品的使用条件、使用环境而有所不同。
(d)即使对消耗品，对制造工程上的不良也可免费更换为新品。
(e)吸嘴过滤器的建议更换周期根据吸嘴的种类、线路板程序数据、使用
环境而变化。
(f)按品名可以辨别吸嘴种类。
HV---:坚硬吸嘴
HG---:软加载吸嘴