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第一章
维护保养
本章节就维护保养进行说明。
1. 维护保养的概要
2. 维护保养检查表
3. 维护保养部位
4. 点检、清扫、注油部位
5. 吸嘴的清扫方法
6. 扩散板组装治具的使用方法
7. 消耗元件和重要保修元件
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1. 维护保养的概要
1. 维护保养的概要
为在良好的状态下运行装置，对点检、清扫、注油或调整进行说明的项目。
请确保定期实施装置的维护保养
1.1 维护保养时的注意事项
警告
请由受过训练的维修人员按规定的步骤慎重进行维护保养工
作。
进行维护保养之前，请先切断 (OFF) 电闸后上锁。
挂锁的钥匙由维修人员管理，禁止非维修人员随意动用。
本公司提供的挂锁一旦遗失或损坏，请另行购买。
注意
即使切断装置的电闸，但电源供给到电闸的主回路，有可能
触电。
进行维护保养作业时，请停止向装置供电。
装置内部的机器有时在切断电源后的几分钟内仍有残留电压。
请在切断电闸后，经过 10 分钟以上，等直流电源、伺服放大
器的切换灯灭灯后进行维护保养。
Note
(a)维护保养的部分内容需要在电源接通状态下进行前期准备。
请确认维护保养的方法。
(b)关于线传感器的清扫，是电源接通状态下的维护保养作业。
虽然打开透明盖后，马达等的负载电源处于关闭 (OFF) 状态，但由于
双手伸进装置内进行作业，因此请充分注意安全。