4OM-1732-004Y2_F8_维护保养&故障处理.pdf - 第96页

4OM-1732 1-4-32 1208-001 4.7 安装头部 4.7.7 真空过滤器的更换周期 : 每三个月 ( 所要时间 :30 分钟 ) 过滤器架 Fig.4A4-43 Procedure  (1) 使用过滤器装卸治具，将过滤器架向上拔出。 (2) 更换两个真空过滤器。过滤器架过滤器 Fig.4A4-44 通知请注意过滤器架的插入朝向，完全插入到底。请确认过滤器架上面和上部模块上面的高度是否一致。

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4.7 安装头部

4.7.6 吸嘴切换凸轮面 ( 上面 ) 的清扫和注油

周期 : 每三个月 ( 所要时间 :5 分钟 )

润滑油 :DAPHNEEPONEXGREASENo.1

吸嘴切换凸轮面

Fig.4A4-41

Procedure

 (1) 凸轮面沾有异物时，用镊子除去。

(2) 用注油器在凸轮面上侧涂刷 0.01cc 的润滑油。

Note

 (a) 0.01cc 大约为 1005 芯片的大小。

(b) 使用吸嘴为 No.19( 茶色 )。

No.19

Fig.4A4-42

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4.7 安装头部

4.7.7 真空过滤器的更换

周期 : 每三个月 ( 所要时间 :30 分钟 )

过滤器架

Fig.4A4-43

Procedure

 (1) 使用过滤器装卸治具，将过滤器架向上拔出。

(2) 更换两个真空过滤器。

过滤器架

过滤器

Fig.4A4-44

通知

请注意过滤器架的插入朝向，完全插入到底。

请确认过滤器架上面和上部模块上面的高度是否一致。

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4.8 XY 横梁部

X轴直线导轨(4处)

每天　点检所要时间:1分钟

X轴直线导轨(4处)

每三个月　清扫、注油所要时间:5分钟

(DAPHNE EPONEX GREASE No.1)

Y轴直线导轨(4处)

每天　点检所要时间:1分钟

Y轴直线导轨(4处)

每三个月　清扫、注油所要时间:5分钟

(DAPHNE EPONEX GREASE No.1)

Fig.4A4-45