4OM-1732-004Y2_F8_维护保养&故障处理.pdf - 第97页
4OM-1732 1-4-33 121 1-002 4.8 XY 横梁部 4.8 XY 横梁部 X轴直线导轨(4处) 每天 点检 所要时间:1分钟 X轴直线导轨(4处) 每三个月 清扫、注油 所要时间:5分钟 (DAPHNE EPONEX GREASE No.1) Y轴直线导轨(4处) 每天 点检 所要时间:1分钟 Y轴直线导轨(4处) 每三个月 清扫、注油 所要时间:5分钟 (DAPHNE EPONEX GREASE No.1) Fi…
4OM-1732
1-4-32
1208-001
4.7 安装头部
4.7.7 真空过滤器的更换
周期 : 每三个月 ( 所要时间 :30 分钟 )
过滤器架
Fig.4A4-43
Procedure
(1) 使用过滤器装卸治具，将过滤器架向上拔出。
(2) 更换两个真空过滤器。
过滤器架
过滤器
Fig.4A4-44
通知
请注意过滤器架的插入朝向，完全插入到底。
请确认过滤器架上面和上部模块上面的高度是否一致。
4OM-1732
1-4-33
1211-002
4.8 XY 横梁部
4.8 XY 横梁部
X轴直线导轨(4处)
每天 点检 所要时间:1分钟
X轴直线导轨(4处)
每三个月 清扫、注油 所要时间:5分钟
(DAPHNE EPONEX GREASE No.1)
Y轴直线导轨(4处)
每天 点检 所要时间:1分钟
Y轴直线导轨(4处)
每三个月 清扫、注油 所要时间:5分钟
(DAPHNE EPONEX GREASE No.1)
Fig.4A4-45
4OM-1732
1-4-34
1211-002
4.8 XY 横梁部
Y轴电缆固定部位
每六个月 点检 所要时间:1分钟
Y轴电缆侧面
每六个月 清扫、注油 所要时间:3分钟
(BARRIERTA IEL/V)
Fig.4A4-46
Y轴直线标尺
每六个月 清扫 所要时间:5分钟
Fig.4A4-47