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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 T-02 後側台車未挿入エラー 前側台車未挿入エラー ノズル設置向きエラー トレイ位置補正計測 エラー LNB ノズル使用 インターロックエラー エ ラ ｜ 対 策 エラーコード エラーメッセージ エラー原因 点検と対策 ノズルチェンジャの中に LNB 側で使用不可と判断されてい るノズルが存在します。 ( シングル停止エラーが発生 しました。 ) エラーとなっているノズルを正常な ノズルに交…
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
上位システム
インターロックエラー
ピンノズルチェンジャ
認識エラー
下受けピン
2Dバーコード
不一致エラー
下受けピン交換用
ノズル無しエラー
エラー
メッ
セージ
トラブルシュート
編
2-1-3
シングル停止エラー 50
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
下受けピン交換用ノズルがす
べて不良ノズルに設定されて
います。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
不良ノズルの設定を解除してくださ
い。
44023
下受けピン交換用ノズルの
2Dバーコードが不正です。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
下受けピン交換用ノズルチェンジ－
内のノズルが下受けピン交換用ノズ
ルであることを確認してください。
44024
いずれかの要因が考えられ
ます。
1)下受けピン交換用ノズル
チェンジャのマークがカメ
ラの認識範囲から外れてい
ます。
2)マークの汚れなどで認識エ
ラーが発生しました。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
下受けピン交換用ノズルチェンジャ
のマーク状態を確認してください。
44025
上位システムからインター
ロック要求がきています。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
上位システムの状態を確認してくだ
さい。
44026
2-1-3-99
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
後側台車未挿入エラー
前側台車未挿入エラー
ノズル設置向きエラー
トレイ位置補正計測
エラー
LNBノズル使用
インターロックエラー
エ
ラ
｜
対
策
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
ノズルチェンジャの中にLNB
側で使用不可と判断されてい
るノズルが存在します。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
エラーとなっているノズルを正常な
ノズルに交換してください。
44027
トレイ位置補正計測に失敗し
ました。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
キャリブレーション第4工程トレイ
吸着位置1および吸着位置2を実施し
てください。
44028
チェンジャのノズル設置向き
が間違っています。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
チェンジャのノズルを正しい向きで
設置してください。
44029
前側台車が未挿入もしくは前
側可動カバーが開いているた
め、XY動作ができません。
(インターロックが発生しま
した。)
前側台車を挿入もしくは前側可動カ
バーを閉めてください。
44031
後側台車が未挿入もしくは後
側可動カバーが開いているた
め、XY動作ができません。
(インターロックが発生しま
した。)
後側台車を挿入もしくは後側可動カ
バーを閉めてください。
44032
2-1-3-100
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
前工程排出信号検出
エラー
タイマーセーフティ
リレー異常
後側可動カバー開閉
動作未完了エラー
前側可動カバー開閉
動作未完了エラー
エラー
メッ
セージ
トラブルシュート
編
2-1-3
シングル停止エラー 51
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
前側可動カバーの開閉動作が
完了していないため、XY動
作ができません。
(インターロックが発生しま
した。)
前側可動カバーの開閉動作が正しく
動作するかを段取りー部材準備ー
フィーダー画面にて確認してくださ
い。
44033
後側可動カバーの開閉動作が
完了していないため、XY動
作ができません。
(インターロックが発生しま
した。)
後側可動カバーの開閉動作が正しく
動作するかを段取りー部材準備ー
フィーダー画面にて確認してくださ
い。
44034
タイマーセーフティリレーが
切れています。
(インターロックが発生しま
した。)
台車を接続するか、可動カバーを閉
じてください。
44035
マシン間通信ありの設定で、
前工程設備からの排出信号
検出前に基板が搬入された
ためエラーが発生しました。
(前工程設備からの排出信号
が検出されませんでした。)
いずれかの対策をしてください。
1)マシン間の通信設定を確認してく
ださい。
2)前工程設備の排出信号出力設定を
確認してください。
44036
2-1-3-101