N7201A654J.pdf - 第172页
NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 T-02 前工程排出信号検出 エラー タイマーセーフティ リレー異常 後側可動カバー開閉 動作未完了エラー 前側可動カバー開閉 動作未完了エラー エラー メッ セージ トラブルシュート 編 2-1-3 シングル停止エラー 51 エラーコード エラーメッセージ エラー原因 点検と対策 前側可動カバーの開閉動作が 完了していないため、 XY 動 作ができません。 ( インターロックが発生しま した…
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
後側台車未挿入エラー
前側台車未挿入エラー
ノズル設置向きエラー
トレイ位置補正計測
エラー
LNBノズル使用
インターロックエラー
エ
ラ
｜
対
策
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
ノズルチェンジャの中にLNB
側で使用不可と判断されてい
るノズルが存在します。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
エラーとなっているノズルを正常な
ノズルに交換してください。
44027
トレイ位置補正計測に失敗し
ました。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
キャリブレーション第4工程トレイ
吸着位置1および吸着位置2を実施し
てください。
44028
チェンジャのノズル設置向き
が間違っています。
(シングル停止エラーが発生
しました。)
チェンジャのノズルを正しい向きで
設置してください。
44029
前側台車が未挿入もしくは前
側可動カバーが開いているた
め、XY動作ができません。
(インターロックが発生しま
した。)
前側台車を挿入もしくは前側可動カ
バーを閉めてください。
44031
後側台車が未挿入もしくは後
側可動カバーが開いているた
め、XY動作ができません。
(インターロックが発生しま
した。)
後側台車を挿入もしくは後側可動カ
バーを閉めてください。
44032
2-1-3-100
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
前工程排出信号検出
エラー
タイマーセーフティ
リレー異常
後側可動カバー開閉
動作未完了エラー
前側可動カバー開閉
動作未完了エラー
エラー
メッ
セージ
トラブルシュート
編
2-1-3
シングル停止エラー 51
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
前側可動カバーの開閉動作が
完了していないため、XY動
作ができません。
(インターロックが発生しま
した。)
前側可動カバーの開閉動作が正しく
動作するかを段取りー部材準備ー
フィーダー画面にて確認してくださ
い。
44033
後側可動カバーの開閉動作が
完了していないため、XY動
作ができません。
(インターロックが発生しま
した。)
後側可動カバーの開閉動作が正しく
動作するかを段取りー部材準備ー
フィーダー画面にて確認してくださ
い。
44034
タイマーセーフティリレーが
切れています。
(インターロックが発生しま
した。)
台車を接続するか、可動カバーを閉
じてください。
44035
マシン間通信ありの設定で、
前工程設備からの排出信号
検出前に基板が搬入された
ためエラーが発生しました。
(前工程設備からの排出信号
が検出されませんでした。)
いずれかの対策をしてください。
1)マシン間の通信設定を確認してく
ださい。
2)前工程設備の排出信号出力設定を
確認してください。
44036
2-1-3-101
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
カバーオープン
(後側安全スイッチ手前)
カバーオープン
(前側安全スイッチ手前)
エラー
メッ
セージ
エ
ラ
｜
対
策
トラブルシュート
編
2-1-4
非常停止エラー 1
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
安全カバーが開いています。
(インターロックが発生しま
した。)
下記の順番で行ってください。
1)安全カバーが開いているときは、
閉じてください。
2)安全カバーを閉じても復旧しない
ときは、安全スイッチが壊れてい
る可能性があります。当社にご連
絡ください。
1302
安全カバーが開いています。
(インターロックが発生しま
した。)
下記の順番で行ってください。
1)安全カバーが開いているときは、
閉じてください。
2)安全カバーを閉じても復旧しない
ときは、安全スイッチが壊れてい
る可能性があります。当社にご連
絡ください。
1303
2-1-4-1