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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 T-02 吸着前検査通信異常 フィーダーカバーなし、 または トレイフィーダーなし エラー メッ セージ トラブルシュート 編 2-1-2 自己診断エラー 22 エラーコード エラーメッセージ エラー原因 点検と対策 フィーダーカバーが無い、 またはトレイフィーダーが 取り付けられていません。 または、トレイフィーダー / 交換台車切り替え仕様の場 合、センサー切り替え部ノ ブの設定が不一致で…
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
外部入力シングル停止
エラー
基板吸着ポンプ
温度異常
エ
ラ
｜
対
策
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
いずれかの要因が考えられ
ます。
1)基板吸着用真空ポンプの故
障。
2)サーマルリレーの保護電流
設定値が正しくない。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
サーマルリレーをリセットし、[マ
シン]－[調整]－[全体]－[出力確認]の
画面で基板吸着用真空ポンフの動作
をご確認ください。異常が確認され
たときは、当社にご連絡ください。
40136
お客様開発の特殊システム
によるシングル停止要求が
あります。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
お客様開発の特殊システムによるシ
ングル停止要求を解除してください。
[マシン]－[調整]－[全体]－[入力確
認]の画面でシングル停止入力状態
が確認できます。
40137
2-1-2-42
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
吸着前検査通信異常
フィーダーカバーなし、
または
トレイフィーダーなし
エラー
メッ
セージ
トラブルシュート
編
2-1-2
自己診断エラー 22
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
フィーダーカバーが無い、
またはトレイフィーダーが
取り付けられていません。
または、トレイフィーダー/
交換台車切り替え仕様の場
合、センサー切り替え部ノ
ブの設定が不一致です。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)一括交換台車を使用するときは、
フィーダーカバーを取り付けてく
ださい。
2)トレイフィーダーを使用するとき
は、トレイフィーダーを取り付け
た後、キーをトレイフィーダー検
出スイッチに挿入してください。
3)トレイフィーダー/交換台車切り
替え仕様の場合、センサー切り替
え部ノブの設定を一致させてくだ
さい。
4)再発するときは、[マシン]－[調整]
－[全体]－[入力確認]の画面で
フィーダーカバーやトレイ検出ス
イッチが接続されていることを確
認してください。
40138
マシン－LNB－ISS(検査サー
バソフトウェア)間の通信状
態に異常があります。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)マシン－LNB間、LNB－ISS間の
通信系統を確認してください。
2)LNBとISSの状態や設定を確認し
てください。
40157
2-1-2-43
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
軽量16ノズル
装着ヘッド
θ基板温度異常
軽量16ノズル
装着ヘッド
θ基板電圧異常
軽量16ノズル
装着ヘッド
Z基板ヒューズ断線
軽量16ノズル
装着ヘッド
Z基板温度異常
軽量16ノズル
装着ヘッド
Z基板電圧異常
エ
ラ
｜
対
策
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
軽量16ノズル装着ヘッドZ軸
制御基板の電圧が異常低下し
ています。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
[マシン]－[情報]－[ファーム]－[情
報]の画面で電圧を確認して、当社
にご連絡ください。
40158
軽量16ノズル装着ヘッドZ軸
制御基板のCPU温度が設定
温度を超えました。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
[マシン]－[情報]－[ファーム]－[情
報]の画面で温度を確認して、当社
にご連絡ください。
40159
軽量16ノズル装着ヘッドZ軸
制御基板のヒューズが断線し
ています。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
[マシン]－[情報]－[ファーム]－[情
報]の画面で電圧を確認して、当社
にご連絡ください。
40160
軽量16ノズル装着ヘッドθ軸
制御基板の電圧が異常低下し
ています。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
[マシン]－[情報]－[ファーム]－[情
報]の画面で電圧を確認して、当社
にご連絡ください。
40161
軽量16ノズル装着ヘッドθ軸
制御基板のCPU温度が設定
温度を超えました。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
[マシン]－[情報]－[ファーム]－[情
報]の画面で温度を確認して、当社
にご連絡ください。
40162
2-1-2-44