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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 T-02 外部入力シングル停止 エラー 基板吸着ポンプ 温度異常 エ ラ ｜ 対 策 エラーコード エラーメッセージ エラー原因 点検と対策 いずれかの要因が考えられ ます。 1) 基板吸着用真空ポンプの故 障。 2) サーマルリレーの保護電流 設定値が正しくない。 ( 自己診断エラーが発生しま した。 ) サーマルリレーをリセットし、 [ マ シン ] － [ 調整 ] － [ 全体 ] －…
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
セーフティリレー
リセット異常
対向Y軸位置エラー
(対向台車無)
対向Y軸位置エラー
(対向台車有)
天井ファン2異常
エラー
メッ
セージ
トラブルシュート
編
2-1-2
自己診断エラー 21
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
本体天井部のファンが停止
しています。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)ファンに障害物が干渉していない
ことを確認をしてください
2)配線抜けなどがないことを確認を
してください。
40132
自XYユニット動作範囲内に
対向XYユニットが停止して
います。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
対向XYユニットを原点位置付近ま
で手動で移動させてください。
40133
対向XYユニットが退避位置
から外れています。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
対向XYユニットを退避位置へ手動
で移動させてください。退避位置は、
Y軸上に白色シールを貼り付けてい
ます。XYユニット端が白色シール
内に収まるように手動で移動させて
ください。
40134
セーフティリレーリセット
異常が発生しました。安全
カバーが一瞬、開状態と
なったため、セーフティリ
レーのリセットができませ
んでした。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
前側、または後側の安全カバーを一
旦大きく開けてから閉じてください。
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2-1-2-41
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
外部入力シングル停止
エラー
基板吸着ポンプ
温度異常
エ
ラ
｜
対
策
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
いずれかの要因が考えられ
ます。
1)基板吸着用真空ポンプの故
障。
2)サーマルリレーの保護電流
設定値が正しくない。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
サーマルリレーをリセットし、[マ
シン]－[調整]－[全体]－[出力確認]の
画面で基板吸着用真空ポンフの動作
をご確認ください。異常が確認され
たときは、当社にご連絡ください。
40136
お客様開発の特殊システム
によるシングル停止要求が
あります。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
お客様開発の特殊システムによるシ
ングル停止要求を解除してください。
[マシン]－[調整]－[全体]－[入力確
認]の画面でシングル停止入力状態
が確認できます。
40137
2-1-2-42
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-02T-02
吸着前検査通信異常
フィーダーカバーなし、
または
トレイフィーダーなし
エラー
メッ
セージ
トラブルシュート
編
2-1-2
自己診断エラー 22
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
フィーダーカバーが無い、
またはトレイフィーダーが
取り付けられていません。
または、トレイフィーダー/
交換台車切り替え仕様の場
合、センサー切り替え部ノ
ブの設定が不一致です。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)一括交換台車を使用するときは、
フィーダーカバーを取り付けてく
ださい。
2)トレイフィーダーを使用するとき
は、トレイフィーダーを取り付け
た後、キーをトレイフィーダー検
出スイッチに挿入してください。
3)トレイフィーダー/交換台車切り
替え仕様の場合、センサー切り替
え部ノブの設定を一致させてくだ
さい。
4)再発するときは、[マシン]－[調整]
－[全体]－[入力確認]の画面で
フィーダーカバーやトレイ検出ス
イッチが接続されていることを確
認してください。
40138
マシン－LNB－ISS(検査サー
バソフトウェア)間の通信状
態に異常があります。
(自己診断エラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)マシン－LNB間、LNB－ISS間の
通信系統を確認してください。
2)LNBとISSの状態や設定を確認し
てください。
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