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NPM-TT2 EJM1EJ-MB-04 T-00 4-1 -4 負 荷 配 置 図 8ノズルヘッド 3ノズルヘッド R3013 R3014 R3015 R3016 R3017 R3018 R3019 R3020 B1001 B1002 B1003 B1004 B1005 B1006 B1007 B1008 M402 M403 M404 M405 M406 M407 M408 M409 M410 R3001 R3002 R3003 R3…
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-04T-00
4-1-3
トラブルシュート
編
4-1
負荷配置図 ２
基板コンベヤー
基板ホルダー
B1117
B1124
B1125
B1126
B1130
B1132
B1133
M603
M602
M606
M607
M608
M604
B1235
B1236
M601
B1115
B1120
B1121
B1122
B1123
B1127
B1131
R4134
R4135
M605
B1C01
B1C00
B1C03
B1D00
B1C02
B1D01
B1244
B1245
R4222
R4136
R4137
R4223
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-04T-00
4-1-4
負
荷
配
置
図
8ノズルヘッド
3ノズルヘッド
R3013
R3014
R3015
R3016
R3017
R3018
R3019
R3020
B1001
B1002
B1003
B1004
B1005
B1006
B1007
B1008
M402
M403
M404
M405
M406
M407
M408
M409
M410
R3001
R3002
R3003
R3004
R3005
R3006
R3007
R3008
G1001
M401
B5001
R3001
R3002
R3003
R3013
R3014
R3015
G1001
B1002
B1003
B1001
M402
M405
M401
B1012
B1013
B1011
B1015
B1016
B1014
M404
M406
M403
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-04T-00
前側 :
R01
後側 :
R11
4-1-5
トラブルシュート編
4-1
負荷配置図 ３
ヘッドオプション駆動ユニット
前側 :
B01
B02
後側 :
B11
B12
前側 :
B03
B04
B05
B06
後側 :
B13
B14
B15
B16