深度解析NPM设备调试、改善思路教材(2)_部分1.pdf - 第155页

关掉真空, H EAD 所有 值都 是 2 ,而且 没有变化 ,大如果某个头的 真空值 是 4 ,有时 候还 会跳到 5 ,所以从此 处就 判断是要么 2 种可能,要 么是真空电磁阀 挂了,要 么是流量 sensor 挂了。 更换真空电磁 阀, 问题依旧存在, 为了证明 是 流量 sensor 的问 题, 对调下 流量 sensor , 结果如果变成了 -87 了, 就说 明气路是 没问题的。

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关掉真空, HEAD 所有值都 2,而且没有变化,大如果某个头的真空值 4,有时候还
会跳到 5,所以从此处就判断是要么 2 种可能,要么是真空电磁阀挂了,要么是流量 sensor
挂了。更换真空电磁阀,问题依旧存在,为了证明流量 sensor 的问题,对调下流量 sensor
结果如果变成了-87 了,就说明气路是没问题的。
“基板检出传感器过程示教”就是教示基板的状态,如皮带不平整等,防止误识别,若设备
一直会报警有基板,实际无基板,可调整传感器的强度,正常数值2500 右。
二十八:基板传送错误
十:基板检测传感器
现在是双轨状态,如果要切换单轨,只需要点击下轨道切换,然后再关机重启就好