深度解析NPM设备调试、改善思路教材(2)_部分1.pdf - 第156页
“基板检出传 感器过程 示教”就是教 示基板的 状态， 如皮带 不平整等， 防止 误识别， 若设备 一直会报警有 基板，实 际无基板，可 调整传感 器的强度， 正常数值 为 2500 左 右。 二十八：基板 传送错误 十：基板检测 传感器 现在是双轨状 态，如果 要切换单轨， 只需要点 击下轨道切 换，然后 再关机重启就好 了
关掉真空， HEAD 所有值都是 2，而且没有变化，大如果某个头的真空值是 4，有时候还
会跳到 5，所以从此处就判断是要么 2 种可能，要么是真空电磁阀挂了，要么是流量 sensor
挂了。更换真空电磁阀，问题依旧存在，为了证明是流量 sensor 的问题，对调下流量 sensor，
结果如果变成了-87 了，就说明气路是没问题的。
“基板检出传感器过程示教”就是教示基板的状态，如皮带不平整等，防止误识别，若设备
一直会报警有基板，实际无基板，可调整传感器的强度，正常数值为 2500 左右。
二十八：基板传送错误
十：基板检测传感器
现在是双轨状态，如果要切换单轨，只需要点击下轨道切换，然后再关机重启就好了
此处的原点偏移量与 Feeder 吸取位置中的原点偏移量的数值是一样的