KE-2050_2060_TroubleShooting_C_REv00.pdf - 第52页

故障检修錯誤消息集 3-33 E6 11 06 1 吸嘴过短。请检查吸嘴。 (L 1 Head) E6 11 062 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。 (L 1 Head) E6 11 063 检查激光是否干净时，发生错误。 (L 1 Head) E6 11 064 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。 (L 1 Head) E6 11 065 检查激光是否干净时，发生错误。 (L 1 Head) E6 11 077 测量…

故障检修錯誤消息集

3-32

E610227 发生未知错误。

E610228 发生 LZ1 驱动警报。

E610229 发生 LZ2 驱动警报。

E610230 发生 LZ3 驱动警报。

E610231 发生 LZ4 驱动警报。

E610232 发生 RZ1 驱动警报。

E610236 发生 LT1 驱动警报。

E610237 发生 LT2 驱动警报。

E610238 发生 LT3 驱动警报。

E610239 发生 LT4 驱动警报。

E610240 发生 RT1 驱动警报。

E610245 发生 VME 的断电。

E610246 发生停电。

E610247 发生 XY 超界。

E610248 发生 Zθ超界。

E610249 发生 XY 驱动警报。

E610300 发送 COMRES 命令出错。

E610301 接受 COMRES 应答出错。

E610302 Z 移动地点参数不正确。

E610303 T 移动地点参数不正确。

E610304 发生事件等待错误。

E610305 发生事件发行错误。

E610400 L1 Head 真空被打开。

E610401 L2 Head 真空被启动。

E610402 L3 Head 真空被启动。

E610403 L4 Head 真空被启动。

E610404 R1 Head 真空被启动。

E610408 指定吸嘴已经被安装。

E611015 LZ1 轴开始移动时发生错误。

E611016 Lθ1 轴开始旋转时发生错误。

E611021 LZ1 轴开始移动时发生错误。

E611022 Lθ1 轴开始旋转时发生错误。

E611023 圆筒上没有分配吸嘴。(L1 Head)

E611024 吸嘴已被安装，可又执行安装吸嘴。(L1 Head)

E611025 吸嘴不存在，可又执行放回吸嘴。(L1 Head)

E611026 测定的吸嘴宽度与设置的吸嘴宽度不一致。(L1 Head)

E611027 设置激光窗口大小发生出错。(L1 Head)

E611028 检查吸嘴是否存在时发生错误。(L1 Head)

E611029 激光识别器测量激光高度发生错误。(L1 Head)

E611030 没有发现吸嘴。(L1 Head)

E611032 Head 处于不使用状态。(L1 Head)

E611033 X 坐标参数不正确。(L1 Head)

E611034 Y 坐标参数不正确。(L1 Head)

E611037 吸嘴过长。(超过 0.6mm) 请检查吸嘴安装状态。(L1 Head)

E611038 吸嘴过长。(超过 0.3mm) 请检查吸嘴安装状态。(L1 Head)

E611042 放回吸嘴后，检查吸嘴是否存在时发现阴影。(L1 Head)

E611047 放回吸嘴的圆筒位置不对。(L1 Head)

E611049 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。(L1 Head)

E611050 检查吸嘴姿势发生错误。(L1 Head)

E611051 因为吸嘴姿势不对，不能放回吸嘴。(L1 Head)

E611054 吸嘴信息(吸嘴外形大小)没有被定义。(L1 Head)

E611057 校正吸嘴姿势出错。(L1 Head)

E611058 吸嘴安装姿势错误。(L1 Head)

E611059 吸嘴倒立安装在 ATC。(L1 Head)

E611060 吸嘴上可能附有元件。不能放回吸嘴。(L1 Head)

故障检修錯誤消息集

3-33

E611061 吸嘴过短。请检查吸嘴。(L1 Head)

E611062 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。(L1 Head)

E611063 检查激光是否干净时，发生错误。(L1 Head)

E611064 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。(L1 Head)

E611065 检查激光是否干净时，发生错误。(L1 Head)

E611077 测量吸嘴长度时，没有发现吸嘴。请检查吸嘴。(L1 Head)

E611078 吸嘴长度过长。请检查吸嘴。(L1 Head)

E611079 吸嘴长度过短。请检查吸嘴。(L1 Head)

E611080 吸嘴长度过长。请检查吸嘴。(L1 Head)

E611081 吸嘴长度的测量结果超过允许范围。请检查吸嘴。(L1 Head)

E611082 吸嘴长度的测量结果没有达到允许范围。请检查吸嘴。(L1 Head)

E611084 真空过大。可能吸嘴被塞满。请检查吸嘴。(L1 Head)

E611091 head 的真空没有上升。(L1 Head)

E611092 吸嘴发生交换错误。请检查吸嘴的安装状态。(L1 Head)

E611093 head 上安装的吸嘴错误。请检查吸嘴。(L1 Head)

E611300 发送 COMRES 命令出错。(L1 Head)

E611301 接受 COMRES 应答出错。(L1 Head)

E612015 LZ2 轴开始移动时发生错误。

E612016 Lθ2 轴开始旋转时发生错误。

E612021 LZ2 轴开始移动时发生错误。

E612022 Lθ2 轴开始旋转时发生错误。

E612023 圆筒上没有分配吸嘴。(L2 Head)

E612024 吸嘴已被安装，可又执行安装吸嘴。(L2 Head)

E612025 吸嘴不存在，可又执行放回吸嘴。(L2 Head)

E612026 测定的吸嘴宽度与设置的吸嘴宽度不一致。(L2 Head)

E612027 设置激光窗口大小发生出错。(L2 Head)

E612028 检查吸嘴是否存在时发生错误。(L2 Head)

E612029 激光识别器测量激光高度发生错误。(L2 Head)

E612030 没有发现吸嘴。(L2 Head)

E612032 Head 处于不使用状态。(L2 Head)

E612033 X 坐标参数不正确。(L2 Head)

E612034 Y 坐标参数不正确。(L2 Head)

E612037 吸嘴过长。(超过 0.6mm) 请检查吸嘴安装状态。(L2 Head)

E612038 吸嘴过长。(超过 0.3mm) 请检查吸嘴安装状态。(L2 Head)

E612042 放回吸嘴后，检查吸嘴是否存在时发现阴影。(L2 Head)

E612047 放回吸嘴的圆筒位置不对。(L2 Head)

E612049 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。(L2 Head)

E612050 检查吸嘴姿势发生错误。(L2 Head)

E612051 因为吸嘴姿势不对，不能放回吸嘴。(L2 Head)

E612054 吸嘴信息(吸嘴外形大小)没有被定义。(L2 Head)

E612057 校正吸嘴姿势出错。(L2 Head)

E612058 吸嘴安装姿势错误。(L2 Head)

E612059 吸嘴倒立安装在 ATC。(L2 Head)

E612060 吸嘴上可能附有元件。不能放回吸嘴。(L2 Head)

E612061 吸嘴过短。请检查吸嘴。(L2 Head)

E612062 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。(L2 Head)

E612063 检查激光是否干净时，发生错误。(L2 Head)

E612064 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。(L2 Head)

E612065 检查激光是否干净时，发生错误。(L2 Head)

E612077 测量吸嘴长度时，没有发现吸嘴。请检查吸嘴。(L2 Head)

E612078 吸嘴长度过长。请检查吸嘴。(L2 Head)

E612079 吸嘴长度过短。请检查吸嘴。(L2 Head)

E612080 吸嘴长度过长。请检查吸嘴。(L2 Head)

E612081 吸嘴长度的测量结果超过允许范围。请检查吸嘴。(L2 Head)

故障检修錯誤消息集

3-34

E612082 吸嘴长度的测量结果没有达到允许范围。请检查吸嘴。(L2 Head)

E612084 真空过大。可能吸嘴被塞满。请检查吸嘴。(L2 Head)

E612091 head 的真空没有上升。(L2 Head)

E612092 吸嘴发生交换错误。请检查吸嘴的安装状态。(L2 Head)

E612093 head 上安装的吸嘴错误。请检查吸嘴。(L2 Head)

E612300 发送 COMRES 命令出错。(L2 Head)

E612301 接受 COMRES 应答出错。(L2 Head)

E613015 LZ3 轴开始移动时发生错误。

E613016 Lθ3 轴开始旋转时发生错误。

E613021 LZ3 轴开始移动时发生错误。

E613022 Lθ3 轴开始旋转时发生错误。

E613023 圆筒上没有分配吸嘴。(L3 Head)

E613024 吸嘴已被安装，可又执行安装吸嘴。(L3 Head)

E613025 吸嘴不存在，可又执行放回吸嘴。(L3 Head)

E613026 测定的吸嘴宽度与设置的吸嘴宽度不一致。(L3 Head)

E613027 设置激光窗口大小发生出错。(L3 Head)

E613028 检查吸嘴是否存在时发生错误。(L3 Head)

E613029 激光识别器测量激光高度发生错误。(L3 Head)

E613030 没有发现吸嘴。(L3 Head)

E613032 Head 处于不使用状态。(L3 Head)

E613033 X 坐标参数不正确。(L3 Head)

E613034 Y 坐标参数不正确。(L3 Head)

E613037 吸嘴过长。(超过 0.6mm) 请检查吸嘴安装状态。(L3 Head)

E613038 吸嘴过长。(超过 0.3mm) 请检查吸嘴安装状态。(L3 Head)

E613042 放回吸嘴后，检查吸嘴是否存在时发现阴影。(L3 Head)

E613047 放回吸嘴的圆筒位置不对。(L3 Head)

E613049 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。(L3 Head)

E613050 检查吸嘴姿势发生错误。(L3 Head)

E613051 因为吸嘴姿势不对，不能放回吸嘴。(L3 Head)

E613054 吸嘴信息(吸嘴外形大小)没有被定义。(L3 Head)

E613057 校正吸嘴姿势出错。(L3 Head)

E613058 吸嘴安装姿势错误。(L3 Head)

E613059 吸嘴倒立安装在 ATC。(L3 Head)

E613060 吸嘴上可能附有元件。不能放回吸嘴。(L3 Head)

E613061 吸嘴过短。请检查吸嘴。(L3 Head)

E613062 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。(L3 Head)

E613063 检查激光是否干净时，发生错误。(L3 Head)

E613064 激光传感器可能被弄脏。请把传感器擦干净。(L3 Head)

E613065 检查激光是否干净时，发生错误。(L3 Head)

E613077 测量吸嘴长度时，没有发现吸嘴。请检查吸嘴。(L3 Head)

E613078 吸嘴长度过长。请检查吸嘴。(L3 Head)

E613079 吸嘴长度过短。请检查吸嘴。(L3 Head)

E613080 吸嘴长度过长。请检查吸嘴。(L3 Head)

E613081 吸嘴长度的测量结果超过允许范围。请检查吸嘴。(L3 Head)

E613082 吸嘴长度的测量结果没有达到允许范围。请检查吸嘴。(L3 Head)

E613084 真空过大。可能吸嘴被塞满。请检查吸嘴。(L3 Head)

E613091 head 的真空没有上升。(L3 Head)

E613092 吸嘴发生交换错误。请检查吸嘴的安装状态。(L3 Head)

E613093 head 上安装的吸嘴错误。请检查吸嘴。(L3 Head)

E613300 发送 COMRES 命令出错。(L3 Head)

E613301 接受 COMRES 应答出错。(L3 Head)

E614015 LZ4 轴开始移动时发生错误。

E614016 Lθ4 轴开始旋转时发生错误。

E614021 LZ4 轴开始移动时发生错误。