KE-2050_2060_TroubleShooting_C_REv00.pdf - 第68页
故障检修 錯誤消息集 3-49 照明 照明 照明 照明 错误代码 错误代码 错误代码 错误代码 信息 信息 信息 信息 _693000 _693000 _693000 _693000 E69300 1 当前机种不支持 VCS 控制。 E693002 HEAD 的规格错误。 E693003 OCC 的规格错误。 E693004 VCS 的规格错误。 E693005 设备的规格错误。 E693006 标准 VCS(R) 的侧面照明不能上升。…
故障检修 錯誤消息集
3-48
E690021 读取的电压不稳定。请检查探针状态。
E690022 测定的电阻有些异常。
E690023 测定的电容有些异常。
E690024 测定的电压有些异常。
E690025 测定的电阻(单位)有些异常。
E690026 测定的电容(单位)有些异常。
E690027 测定的电压(单位)有些异常。
E690028 不能测定电阻。请检查探针是否已关闭。
E690029 不能测定电容。请检查探针是否已关闭。
E690030 不能测定电压。请检查探针是否已关闭。
E690031 不能打开测试器电源。
E690032 因为大气压太低，所以停止探针的控制。
安全
安全安全
安全
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_691000
_691000_691000
_691000
E691001 CCL-48M 的 I/O 缓冲器不能达到就绪状态。
E691002 不能使用闪存卡的写入缓冲区。
E691003 不能使用闪存卡的删除指令。
E691004 闪存卡的 WSM(Write State Machine)不能达到就绪状态。
E691005 闪存卡控制中发生写入电压范围错误。
E691006 闪存卡控制中发生设备保护错误。
E691007 闪存卡控制中发生写入错误。
E691008 闪存卡控制中发生指令次序错误。
E691009 闪存卡控制中发生 Lock Bit Set 错误。
E691010 闪存卡控制中发生 Lock Bit Clear 错误。
E691011 闪存卡的共通数据的字节校验法(Check Word)错误。
E691012 闪存卡的共通数据的和数校验法(Check sum)错误。
E691013 闪存卡的共通数据的数据版本错误。
E691014 闪存卡的共通数据的数据长度错误。
E691015 共通数据的数据种类错误。
E691016 发生系统错误。机器类型错误。
Ｉ／Ｏ驱动器
Ｉ／Ｏ驱动器Ｉ／Ｏ驱动器
Ｉ／Ｏ驱动器
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_692000
_692000_692000
_692000
E692001 发生系统错误。不能执行命令。
E692002 发生系统错误。没有响应。
E692003 发生系统错误。非法命令标记。
E692004 发生系统错误。非法命令。
E692005 发生系统错误。非法块编号(Block No.)
E692006 不能使用闪存卡的写入缓冲器。Block No.=%d
E692007 不能使用闪存卡的删除指令。Block No.=%d
E692008 闪存卡的 WSM(Write State Machine)不能达到准备状态。Block No.=%d
E692009 闪存卡的控制，发生写入电压范围错误。Block No.=%d
E692010 闪存卡的控制，存发生设备保护错误。Block No.=%d
E692011 闪存卡的控制，发生写入错误。Block No.=%d
E692012 闪存卡的控制，发生命令次序错误。Block No.=%d
E692013 闪存卡的控制，发生 Lock Bit Set 错误。Block No.=%d
E692014 闪存卡的控制，发生 Lock Bit Clear 错误。Block No.=%d
E692015 没有安装 HMS
E692016 HMS 测量值异常
E692017 HMS 测量值异常。超过测量范围。
故障检修 錯誤消息集
3-49
照明
照明照明
照明
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_693000
_693000_693000
_693000
E693001 当前机种不支持 VCS 控制。
E693002 HEAD 的规格错误。
E693003 OCC 的规格错误。
E693004 VCS 的规格错误。
E693005 设备的规格错误。
E693006 标准 VCS(R)的侧面照明不能上升。
E693007 选项 VCS(R)的侧面照明不能上升。
E693008 标准 VCS(L)的侧面照明不能上升。
E693009 选项 VCS(L)的侧面照明不能上升。
E693010 标准 VCS(R)的侧面照明不能下降。
E693011 选项 VCS(R)的侧面照明不能下降。
E693012 标准 VCS(L)的侧面照明不能下降。
E693013 选项 VCS(L)的侧面照明不能下降。
E693014 标准 VCS(R)的侧面照明位置传感器错误。
E693015 选项 VCS(R)的侧面照明位置传感器错误。
E693016 标准 VCS(L)的侧面照明位置传感器错误。
E693017 选项 VCS(L)的侧面照明位置传感器错误。
E693018 发生系统错误。机器类型错误。
E693019 照明位置切换到 VCS（R）时，照明位置传感器发现异常。标准和选项两侧的传感器都是 ON。
E693020 照明位置切换到 VCS（L）时，照明位置传感器发现异常。标准和选项两侧的传感器都是 ON。
E693021 照明位置切换到 VCS（R）时，照明位置传感器发现异常。标准和选项两侧的传感器都是 OFF。
E693022 照明位置切换到 VCS（L）时，照明位置传感器发现异常。标准和选项两侧的传感器都是 OFF。
E693023 照明位置切换不了标准 VCS（R）。标准侧的位置传感器不是 ON。
E693024 照明位置切换不了选项 VCS（R）。选项侧的位置传感器不是 ON。
E693025 照明位置切换不了标准 VCS（L）。标准侧的位置传感器不是 ON。
E693026 照明位置切换不了选项 VCS（L）。选项侧的位置传感器不是 ON。
共面检测器
共面检测器共面检测器
共面检测器
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_694000
_694000_694000
_694000
E694001 共面检测错误。
E694002 共面检测时的端子位置偏移错误。
E694003 引脚数错误。
E694004 平行性判断错误。
E694005 共面检测时测量错误。
E694006 共面测量高度过低。
E694007 共面测量高度过高。
E694011 共面测量单元错误。
E694012 违规数据或违规操作引起的错误。
E694013 共面校准错误。
E694014 超时或其他错误。
E694015 控制共面的硬件出错。
E694016 测量软件有问题。
E694017 激光超时错误。
E694018 传感器电缆连接异常。
E694019 马达旋转次数异常。
E694020 传感器内存异常。
E694021 初始化共面单元时发生错误。
E694022 共面测量时轴错误。
E694030 指定的元件类型错误。
E694031 元件尺寸过大，超过测量范围。
E694032 元件尺寸超过测量范围。
E694033 元件高度过高，超过测量范围。
故障检修 錯誤消息集
3-50
E694034 指定的测量方法有问题或指定元件类型错误。
E694035 所指定的电极不能测量。
E694036 未用共面检测。
激光
激光激光
激光
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_695000
_695000_695000
_695000
E695012 HEAD 参数不正确。
E695013 激光板(L)总线发生错误。请检查一下激光板。
E695014 激光板(R)总线发生错误。请检查一下激光板。
E695015 激光板(L)总线发生错误。
E695016 激光板(R)总线发生错误。
E695017 激光板(L)的初始化失败。
E695018 激光板(R)的初始化失败。
E695019 Timed out waiting for dsout to change. (EEPROM erase)
E695020 Timed out waiting for dsout to change. (EEPROM write)
E695021 激光板总线发生错误。请检查一下激光板。
总线
总线总线
总线
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_696000
_696000_696000
_696000
E696001 读 PCI 总线配置寄存器时发生错误。
E696002 写 PCI 总线配置寄存器时发生错误。
E696003 修改 VME 总线地址时发生错误。
E696004 分配 VME 总线内存时发生错误。
E696005 释放 VME 总线内存时发生错误。
E696006 建立中断通知用事件时发生错误。
E696007 注册中断入口时发生错误。
E696008 释放中断入口时发生错误。
E696009 VME 总线地址参数错误。
E696010 VME 电源异常。
自动校准
自动校准自动校准
自动校准
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_906000
_906000_906000
_906000
E906001 内存分配错误。
E906002 打开共用内存错误。
E906011 测量结果超过界限。请检查一下 MS 参数。
E906021 尚未结束返回原点。
E906022 伺服处于未使用状态。
E906031 没有安装被选设备。请重新选择其它设备。
E906041 不存在可用 Head。
E906042 不存在可用 VCS。
E906043 %s 是无效设备。被选单元不能测量。
E906051 500 号, 501号及502 号吸嘴没有安装在 ATC。请利用机器设置的 ATC 吸嘴分配，设置吸嘴。
E906052 508 号及 507 号吸嘴没有安装在 ATC。请利用机器设置的 ATC 吸嘴分配，设置吸嘴。
E906061 不能识别激光校准用校准模具的标记。请确认一下模具位置。
E906062 不能识别激光校准用校准模具的标记。
E906071 不能吸取激光校准用校准模具。请确认一下模具是否置于校准块上面。
E906072 不能吸取激光校准用校准模具。请确认一下模具是否置于模具站点上面。
E906073 模具的贴片位置和校准块位置的误差超过界限值。请检查一下 MS 参数。
E906074 激光校准用校准模具的位置有些异常。请确认一下模具位置。
E906075 不能吸取 VCS 用校准模具。请确认一下模具是否置于模具站点上面。
E906101 检测激光测量高度发生错误。代码: %ld
E906102 设置激光参数发生错误。代码: %ld