KE-2050_2060_TroubleShooting_C_REv00.pdf - 第66页
故障检修 錯誤消息集 3-47 E650324 传送基板 ( 通过 ) 错误 : 基板从入口传感器到等待传感器超时。 E650325 传送基板 ( 通过 ) 错误 : 入口快门超时。 E650326 传送基板 ( 通过 ) 错误 : 基板从入口缓冲区到中心缓冲区移动中，入口传感器打开错误。 E650332 传送基板 ( 通过 ) 错误 : 等待传感器关闭超时。 E650333 传送基板 ( 通过 ) 错误 : C.OUT 传感器关闭超时…
故障检修 錯誤消息集
3-46
E642306 DTS 通讯错误 : 接收正文结束符(ETX)错误
E642311 DTS 错误 : DTS 发生错误
E642312 DTS 错误 : 因未结束初始化，不能运转
E642313 DTS 错误 : 因安全盖被打开，不能运转
E642314 DTS 错误 : 在补充阶段不能运转
E642315 DTS 错误 : 因为其它原因，不能运转
E642321 DTS 错误 : 托盘设置要求错误
E642322 DTS 错误 : 补充要求错误
基板传送驱动器
基板传送驱动器基板传送驱动器
基板传送驱动器・
・・
・自动传送
自动传送自动传送
自动传送・
・・
・空运转
空运转空运转
空运转
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_650000
_650000_650000
_650000
E650001 基板传送错误 : 传送系统错误。
E650100 基板传送错误: 传送基板时，发生异步现象。
E650208 传送基板错误 : 检查中心马达停止错误。
W650211 传送基板错误 : C.OUT 传感器发现基板。请移走出口缓冲器的基板。
E650218 传送基板错误 : 不是 Resume 暂停状态，却被接受 Resume 返回原点命令。
W650219 传送基板错误 : 正在传送基板。
E650221 传送基板错误 : 等待传感器 OFF 超时。
E650222 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板出错，被强行停止。 请卸下基板。
E650223 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板出错，被强行停止。 请取下基板。
E650224 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板超过时间。
E650226 传送基板错误 : 基板在入口缓冲区～中心缓冲区移动时，发现入口传感器 On。请取下基板。
E650227 传送基板错误 : 入口传感器 OFF 超时。
E650232 传送基板错误 : STOP 传感器 OFF 超时。
E650233 传送基板错误 : C.OUT 传感器 OFF 超时。
E650234 传送基板错误 : 基板从入口区到中心区移动超过时间。
E650235 传送基板错误 : C.OUT 传感器 ON 超时。
E650236 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 C.OUT 传感器 ON 错误。
E650237 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 STOP 传感器 ON 错误。
E650238 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 ON 超时。
E650239 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 OFF 超时。
E650240 传送基板错误 : 真空台使用设置与机器设置不同。
E650261 传送基板错误 : OUT 缓冲器搬出基板超时。
E650262 传送基板错误 : OUT 传感器 OFF 超时。
E650264 传送基板错误 : 从出口侧中心缓冲区到出口缓冲区，基板移动超时。
E650265 传送基板错误 : 出口缓冲区，基板搬出超时。
E650266 传送基板错误 : 出口快门超时。
E650267 传送基板错误 : OUT 传感器 ON 时，发现 C.OUT 传感器 ON 错误。
E650271 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台上升失败。
E650272 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台上升超时。
E650273 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台下降失败。
E650274 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台下降超时。
E650275 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台马达运转异常。
E650276 基板固定错误 : 中心缓冲区，孔基准动作异常。
E650277 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台制动器固定错误。
E650278 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台制动器释放错误。
W650309 传送基板(通过)错误 : 传送轨道上发现基板。
W650311 传送基板(通过)错误 : 中心缓冲区发现基板。
W650312 传送基板(通过)错误 : 入口侧中心缓冲区发现基板。
W650313 传送基板(通过)错误 : 出口侧中心缓冲区发现基板。
W650314 传送基板(通过)错误 : 出口缓冲区发现基板。
E650319 传送基板(通过)错误 : 正在运行传送基板(通过)。
E650321 传送基板(通过)错误 : 入口缓冲区马达运转异常。
E650322 传送基板(通过)错误 : 入口传感器 / 等待传感器同时打开错误。
E650323 传送基板(通过)错误 : 入口传感器 / 等待传感器同时打开错误。
故障检修 錯誤消息集
3-47
E650324 传送基板(通过)错误 : 基板从入口传感器到等待传感器超时。
E650325 传送基板(通过)错误 : 入口快门超时。
E650326 传送基板(通过)错误 : 基板从入口缓冲区到中心缓冲区移动中，入口传感器打开错误。
E650332 传送基板(通过)错误 : 等待传感器关闭超时。
E650333 传送基板(通过)错误 : C.OUT 传感器关闭超时。
E650334 传送基板(通过)错误 : 从入口缓冲区到中心缓冲区的基板移动超时。
E650335 传送基板(通过)错误 : 在中心缓冲区发生错误。
E650362 传送基板(通过)错误 : OUT 传感器 OFF 超时。
E650364 传送基板(通过)错误 : 基板移出出口缓冲区超时。
E650365 传送基板(通过)错误 : 基板移出出口缓冲区超时。
E650366 传送基板(通过)错误 : 出口快门超时。
E650367 传送基板(通过)错误 : 出口缓冲区的基板搬入出错。
W650401 基板固定错误 : 支撑台停止挡销被打开。请关闭支撑台停止挡销。
W650402 基板固定错误 : 支撑台停止挡销没有被选用。
W650701 重新固定错误 : 在停止传感器上面，没有发现基板。请确认一下基板位置。
E650702 重新固定错误 : 未查出基板前沿。
E650703 重新固定错误 : 未查出基板前沿。
E650704 重新固定错误 : 基板处于固定状态。不能重新固定。
W650711 重新固定错误 : C.OUT 传感器发现基板。请移走出口缓冲器的基板
W650791 重新固定错误 : 重新固定动作所需的移动距离不够长。
W650792 重新固定错误 : 重新固定动作时，等待传感器状态已变更。
E651001 未完成返回原点。
E651002 返回原点发生错误。
E651003 没有必要移动。
E651004 被支撑台针检查而停止。
E651005 命令被重复执行。
E651006 起动命令事件出错。
E651007 执行命令超时。
E651008 马达已经停止，但编译器没有停止。
E651009 起动马达时发生错误。
E651010 等待马达停止时发生错误。
E651011 读取原点传感器时发生错误。
E651012 马达尚未停止。
ＣＶＳ
ＣＶＳＣＶＳ
ＣＶＳ
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_690000
_690000_690000
_690000
E690001 未设置 CVS。
E690002 因探针没有被关闭，不能切换到测定电阻模式。请关闭探针后再执行。
E690003 因探针没有被打开，不能切换到测定电容模式。请打开探针后再执行。
E690004 测定模式不正确。
E690005 控制探针参数不正确。
E690006 不关闭探针，就不能测定电阻。请关闭探针后执行。
E690007 不关闭探针，就不能测定电容。请关闭探针后执行。
E690008 不关闭探针，就不能测定电流方向。请关闭探针后执行。
E690009 因为不是测定电阻模式，不能测定电阻。请切换到测定电阻模式后执行。
E690010 因为不是测定电容模式，不能测定电容。请切换到测定电容模式后执行。
E690011 因为不是测定电流方向模式，不能测定电流方向。请切换到测定电流方向模式后执行。
E690012 因为采取的模式不是测定电阻模式，所以不能测定电阻。
E690013 因为采取的模式不是测定电容模式，所以不能测定电容。
E690014 因为采取的模式不是测定电流方向模式，所以不能测定电流方向。
E690015 零位电阻有些异常。请检查一下探针是否短路。
E690016 读取电阻超时。
E690017 读取电容超时。
E690018 读取电压超时。
E690019 读取的电阻不稳定。请检查探针状态。
E690020 读取的电容不稳定。请检查探针状态。
故障检修 錯誤消息集
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E690021 读取的电压不稳定。请检查探针状态。
E690022 测定的电阻有些异常。
E690023 测定的电容有些异常。
E690024 测定的电压有些异常。
E690025 测定的电阻(单位)有些异常。
E690026 测定的电容(单位)有些异常。
E690027 测定的电压(单位)有些异常。
E690028 不能测定电阻。请检查探针是否已关闭。
E690029 不能测定电容。请检查探针是否已关闭。
E690030 不能测定电压。请检查探针是否已关闭。
E690031 不能打开测试器电源。
E690032 因为大气压太低，所以停止探针的控制。
安全
安全安全
安全
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_691000
_691000_691000
_691000
E691001 CCL-48M 的 I/O 缓冲器不能达到就绪状态。
E691002 不能使用闪存卡的写入缓冲区。
E691003 不能使用闪存卡的删除指令。
E691004 闪存卡的 WSM(Write State Machine)不能达到就绪状态。
E691005 闪存卡控制中发生写入电压范围错误。
E691006 闪存卡控制中发生设备保护错误。
E691007 闪存卡控制中发生写入错误。
E691008 闪存卡控制中发生指令次序错误。
E691009 闪存卡控制中发生 Lock Bit Set 错误。
E691010 闪存卡控制中发生 Lock Bit Clear 错误。
E691011 闪存卡的共通数据的字节校验法(Check Word)错误。
E691012 闪存卡的共通数据的和数校验法(Check sum)错误。
E691013 闪存卡的共通数据的数据版本错误。
E691014 闪存卡的共通数据的数据长度错误。
E691015 共通数据的数据种类错误。
E691016 发生系统错误。机器类型错误。
Ｉ／Ｏ驱动器
Ｉ／Ｏ驱动器Ｉ／Ｏ驱动器
Ｉ／Ｏ驱动器
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_692000
_692000_692000
_692000
E692001 发生系统错误。不能执行命令。
E692002 发生系统错误。没有响应。
E692003 发生系统错误。非法命令标记。
E692004 发生系统错误。非法命令。
E692005 发生系统错误。非法块编号(Block No.)
E692006 不能使用闪存卡的写入缓冲器。Block No.=%d
E692007 不能使用闪存卡的删除指令。Block No.=%d
E692008 闪存卡的 WSM(Write State Machine)不能达到准备状态。Block No.=%d
E692009 闪存卡的控制，发生写入电压范围错误。Block No.=%d
E692010 闪存卡的控制，存发生设备保护错误。Block No.=%d
E692011 闪存卡的控制，发生写入错误。Block No.=%d
E692012 闪存卡的控制，发生命令次序错误。Block No.=%d
E692013 闪存卡的控制，发生 Lock Bit Set 错误。Block No.=%d
E692014 闪存卡的控制，发生 Lock Bit Clear 错误。Block No.=%d
E692015 没有安装 HMS
E692016 HMS 测量值异常
E692017 HMS 测量值异常。超过测量范围。