KE-2050_2060_TroubleShooting_C_REv00.pdf - 第67页
故障检修 錯誤消息集 3-48 E69002 1 读取的电压不稳定。请检查探针状态。 E690022 测定的电阻有些异常。 E690023 测定的电容有些异常。 E690024 测定的电压有些异常。 E690025 测定的电阻 ( 单位 ) 有些异常。 E690026 测定的电容 ( 单位 ) 有些异常。 E690027 测定的电压 ( 单位 ) 有些异常。 E690028 不能测定电阻。请检查探针是否已关闭。 E690029 不能测定…
故障检修 錯誤消息集
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E650324 传送基板(通过)错误 : 基板从入口传感器到等待传感器超时。
E650325 传送基板(通过)错误 : 入口快门超时。
E650326 传送基板(通过)错误 : 基板从入口缓冲区到中心缓冲区移动中，入口传感器打开错误。
E650332 传送基板(通过)错误 : 等待传感器关闭超时。
E650333 传送基板(通过)错误 : C.OUT 传感器关闭超时。
E650334 传送基板(通过)错误 : 从入口缓冲区到中心缓冲区的基板移动超时。
E650335 传送基板(通过)错误 : 在中心缓冲区发生错误。
E650362 传送基板(通过)错误 : OUT 传感器 OFF 超时。
E650364 传送基板(通过)错误 : 基板移出出口缓冲区超时。
E650365 传送基板(通过)错误 : 基板移出出口缓冲区超时。
E650366 传送基板(通过)错误 : 出口快门超时。
E650367 传送基板(通过)错误 : 出口缓冲区的基板搬入出错。
W650401 基板固定错误 : 支撑台停止挡销被打开。请关闭支撑台停止挡销。
W650402 基板固定错误 : 支撑台停止挡销没有被选用。
W650701 重新固定错误 : 在停止传感器上面，没有发现基板。请确认一下基板位置。
E650702 重新固定错误 : 未查出基板前沿。
E650703 重新固定错误 : 未查出基板前沿。
E650704 重新固定错误 : 基板处于固定状态。不能重新固定。
W650711 重新固定错误 : C.OUT 传感器发现基板。请移走出口缓冲器的基板
W650791 重新固定错误 : 重新固定动作所需的移动距离不够长。
W650792 重新固定错误 : 重新固定动作时，等待传感器状态已变更。
E651001 未完成返回原点。
E651002 返回原点发生错误。
E651003 没有必要移动。
E651004 被支撑台针检查而停止。
E651005 命令被重复执行。
E651006 起动命令事件出错。
E651007 执行命令超时。
E651008 马达已经停止，但编译器没有停止。
E651009 起动马达时发生错误。
E651010 等待马达停止时发生错误。
E651011 读取原点传感器时发生错误。
E651012 马达尚未停止。
ＣＶＳ
ＣＶＳＣＶＳ
ＣＶＳ
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_690000
_690000_690000
_690000
E690001 未设置 CVS。
E690002 因探针没有被关闭，不能切换到测定电阻模式。请关闭探针后再执行。
E690003 因探针没有被打开，不能切换到测定电容模式。请打开探针后再执行。
E690004 测定模式不正确。
E690005 控制探针参数不正确。
E690006 不关闭探针，就不能测定电阻。请关闭探针后执行。
E690007 不关闭探针，就不能测定电容。请关闭探针后执行。
E690008 不关闭探针，就不能测定电流方向。请关闭探针后执行。
E690009 因为不是测定电阻模式，不能测定电阻。请切换到测定电阻模式后执行。
E690010 因为不是测定电容模式，不能测定电容。请切换到测定电容模式后执行。
E690011 因为不是测定电流方向模式，不能测定电流方向。请切换到测定电流方向模式后执行。
E690012 因为采取的模式不是测定电阻模式，所以不能测定电阻。
E690013 因为采取的模式不是测定电容模式，所以不能测定电容。
E690014 因为采取的模式不是测定电流方向模式，所以不能测定电流方向。
E690015 零位电阻有些异常。请检查一下探针是否短路。
E690016 读取电阻超时。
E690017 读取电容超时。
E690018 读取电压超时。
E690019 读取的电阻不稳定。请检查探针状态。
E690020 读取的电容不稳定。请检查探针状态。
故障检修 錯誤消息集
3-48
E690021 读取的电压不稳定。请检查探针状态。
E690022 测定的电阻有些异常。
E690023 测定的电容有些异常。
E690024 测定的电压有些异常。
E690025 测定的电阻(单位)有些异常。
E690026 测定的电容(单位)有些异常。
E690027 测定的电压(单位)有些异常。
E690028 不能测定电阻。请检查探针是否已关闭。
E690029 不能测定电容。请检查探针是否已关闭。
E690030 不能测定电压。请检查探针是否已关闭。
E690031 不能打开测试器电源。
E690032 因为大气压太低，所以停止探针的控制。
安全
安全安全
安全
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_691000
_691000_691000
_691000
E691001 CCL-48M 的 I/O 缓冲器不能达到就绪状态。
E691002 不能使用闪存卡的写入缓冲区。
E691003 不能使用闪存卡的删除指令。
E691004 闪存卡的 WSM(Write State Machine)不能达到就绪状态。
E691005 闪存卡控制中发生写入电压范围错误。
E691006 闪存卡控制中发生设备保护错误。
E691007 闪存卡控制中发生写入错误。
E691008 闪存卡控制中发生指令次序错误。
E691009 闪存卡控制中发生 Lock Bit Set 错误。
E691010 闪存卡控制中发生 Lock Bit Clear 错误。
E691011 闪存卡的共通数据的字节校验法(Check Word)错误。
E691012 闪存卡的共通数据的和数校验法(Check sum)错误。
E691013 闪存卡的共通数据的数据版本错误。
E691014 闪存卡的共通数据的数据长度错误。
E691015 共通数据的数据种类错误。
E691016 发生系统错误。机器类型错误。
Ｉ／Ｏ驱动器
Ｉ／Ｏ驱动器Ｉ／Ｏ驱动器
Ｉ／Ｏ驱动器
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_692000
_692000_692000
_692000
E692001 发生系统错误。不能执行命令。
E692002 发生系统错误。没有响应。
E692003 发生系统错误。非法命令标记。
E692004 发生系统错误。非法命令。
E692005 发生系统错误。非法块编号(Block No.)
E692006 不能使用闪存卡的写入缓冲器。Block No.=%d
E692007 不能使用闪存卡的删除指令。Block No.=%d
E692008 闪存卡的 WSM(Write State Machine)不能达到准备状态。Block No.=%d
E692009 闪存卡的控制，发生写入电压范围错误。Block No.=%d
E692010 闪存卡的控制，存发生设备保护错误。Block No.=%d
E692011 闪存卡的控制，发生写入错误。Block No.=%d
E692012 闪存卡的控制，发生命令次序错误。Block No.=%d
E692013 闪存卡的控制，发生 Lock Bit Set 错误。Block No.=%d
E692014 闪存卡的控制，发生 Lock Bit Clear 错误。Block No.=%d
E692015 没有安装 HMS
E692016 HMS 测量值异常
E692017 HMS 测量值异常。超过测量范围。
故障检修 錯誤消息集
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照明
照明照明
照明
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_693000
_693000_693000
_693000
E693001 当前机种不支持 VCS 控制。
E693002 HEAD 的规格错误。
E693003 OCC 的规格错误。
E693004 VCS 的规格错误。
E693005 设备的规格错误。
E693006 标准 VCS(R)的侧面照明不能上升。
E693007 选项 VCS(R)的侧面照明不能上升。
E693008 标准 VCS(L)的侧面照明不能上升。
E693009 选项 VCS(L)的侧面照明不能上升。
E693010 标准 VCS(R)的侧面照明不能下降。
E693011 选项 VCS(R)的侧面照明不能下降。
E693012 标准 VCS(L)的侧面照明不能下降。
E693013 选项 VCS(L)的侧面照明不能下降。
E693014 标准 VCS(R)的侧面照明位置传感器错误。
E693015 选项 VCS(R)的侧面照明位置传感器错误。
E693016 标准 VCS(L)的侧面照明位置传感器错误。
E693017 选项 VCS(L)的侧面照明位置传感器错误。
E693018 发生系统错误。机器类型错误。
E693019 照明位置切换到 VCS（R）时，照明位置传感器发现异常。标准和选项两侧的传感器都是 ON。
E693020 照明位置切换到 VCS（L）时，照明位置传感器发现异常。标准和选项两侧的传感器都是 ON。
E693021 照明位置切换到 VCS（R）时，照明位置传感器发现异常。标准和选项两侧的传感器都是 OFF。
E693022 照明位置切换到 VCS（L）时，照明位置传感器发现异常。标准和选项两侧的传感器都是 OFF。
E693023 照明位置切换不了标准 VCS（R）。标准侧的位置传感器不是 ON。
E693024 照明位置切换不了选项 VCS（R）。选项侧的位置传感器不是 ON。
E693025 照明位置切换不了标准 VCS（L）。标准侧的位置传感器不是 ON。
E693026 照明位置切换不了选项 VCS（L）。选项侧的位置传感器不是 ON。
共面检测器
共面检测器共面检测器
共面检测器
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_694000
_694000_694000
_694000
E694001 共面检测错误。
E694002 共面检测时的端子位置偏移错误。
E694003 引脚数错误。
E694004 平行性判断错误。
E694005 共面检测时测量错误。
E694006 共面测量高度过低。
E694007 共面测量高度过高。
E694011 共面测量单元错误。
E694012 违规数据或违规操作引起的错误。
E694013 共面校准错误。
E694014 超时或其他错误。
E694015 控制共面的硬件出错。
E694016 测量软件有问题。
E694017 激光超时错误。
E694018 传感器电缆连接异常。
E694019 马达旋转次数异常。
E694020 传感器内存异常。
E694021 初始化共面单元时发生错误。
E694022 共面测量时轴错误。
E694030 指定的元件类型错误。
E694031 元件尺寸过大，超过测量范围。
E694032 元件尺寸超过测量范围。
E694033 元件高度过高，超过测量范围。