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机器控制参数 2- 71 2-4-9 MNVC FCS 控制 参数 2-4-9-1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 数据有效／无效 0 1 0 ： 无效 1 ：有效（默 认） ※ 2 标记形状 0 ： 3 极性 0 ： 正转 1 ： 反转 4 标记尺寸 0.1 μ m 默认： 40000 ※ 在“数据有效 / 无效”选择了“无 效”后，以后的 项目不能编辑。
机器控制参数
2-70
2-4-8 MNVC 元件控制
2-4-8-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 数据有效／无效 0 1 0：无效
1：有效（默认）
※
2 纵长姿势控制最小长边尺寸 默认：200100
3 适用的最大长边尺寸 默认：265099
4 最大对角尺寸 默认：307000
5 适用的最大短边尺寸（扩展） 默认：335099
6 最大对角尺寸（扩展） 默认：473800
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。
机器控制参数
2-71
2-4-9 MNVC FCS 控制参数
2-4-9-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 数据有效／无效 0 1 0：无效
1：有效（默认）
※
2 标记形状 0：
3 极性
0：正转
1：反转
4 标记尺寸 0.1μm 默认：40000
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。
机器控制参数
2-72
2-4-10 设置 OCC 坏板标记
2-4-10-1 设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 对比度图案 0 19
2 最大值
3 最小值