KE-3010A_KE-3020VA_KE-3020VRA-Rev15PDFA.pdf - 第13页
- 6 - NOTE( 注記 ) #01....UNTIL M/C REV.C マシン ＲＥＶ．Ｃ 以前 #02....AFTER M/C REV.D マシン ＲＥＶ．Ｄ 以降 REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 #01 401-47582 VACUUM_PUMP_ASM 真空＿ポンプ＿組 1 2 401-2924 4 VACUUM PUMP ASM 真空ポンプ組 (1…
- 5 -
3. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(1)
ベースフレーム電装関係（１）
９
４
１２
８
１１
１２
７
３
１０
１
６
５
３
２
１３
１５
１７ １９
１６
１４
２０
２１
３１
３０
２９
２９
２６
２２
２４
２５
２８
３４
３４
３３
２３
３０
２７
３１
３２
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NOTE( 注記 ) #01....UNTIL M/C REV.C マシン ＲＥＶ．Ｃ 以前
#02....AFTER M/C REV.D マシン ＲＥＶ．Ｄ 以降
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1
#01
401-47582 VACUUM_PUMP_ASM
真空＿ポンプ＿組
1
2 401-29244 VACUUM PUMP ASM
真空ポンプ組
(1)
3 400-38381 STEP SCREW
段付きねじ
(4)
4 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
5 PX-0553020-00 SILENCER
サイレンサ
(1)
6 PV-0253010-00 CHECK VALVE
チェック バルブ
(1)
7 401-47525 VP_STAY
バキュームポンプステイ
(1)
8 401-47524 VACUUM_PUMP_BR
バキュームポンプブラケット
(1)
9 WP-1052001-SC WASHER 10
平座金みがき丸 Ｍ１０
(4)
10 CM-3003000-02 LABEL2 (25)
高温注意シール２（２５）
(1)
11
#01
401-47523 PLATE_SUPPORT
プレートサポート
2
12
#01
SL-6061492-TN SCREW M6 L=14
座金付き六角穴ボルト Ｍ６ Ｌ＝１４
4
13 SL-4041091-SC SCREW M4 L=10
座金付きなべ小ねじ Ｍ４ Ｌ＝１０
1
14 401-47583 BREAKER_ASM
ブレーカー＿組
1
15 401-29262 AC INPUT SURGE PROTECTOR ASM
ＡＣ入力サージプロテクタ組
(1)
16 401-47526 BREAKER_BR
ブレーカーブラケット
(1)
17 HA-0063300-00 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
18 HA-0064400-00 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
19 HA-0063400-10 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
20 SL-3061232-TN SCREW M6 L=12
座金付きボタンボルト Ｍ６ Ｌ＝１２
2
21
#02
401-47582 VACUUM_PUMP_ASM
真空＿ポンプ＿組
1
22 401-29244 VACUUM PUMP ASM
真空ポンプ組
(1)
23 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
24 PX-0553020-00 SILENCER
サイレンサ
(1)
25 PV-0253010-00 CHECK VALVE
チェック バルブ
(1)
26 401-66450 VP_STAY
真空ポンプステイ
(1)
27 401-66448 VP_BR
真空ポンプブラケット
(1)
28 CM-3003000-02 LABEL2 (25)
高温注意シール２（２５）
(1)
29 401-66451 VP_RUBBER
真空ポンプラバー
(2)
30 401-66449 VP_FIX_BR
真空ポンプ固定ブラケット
(2)
31 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(4)
32 400-32070 LOW HEAD CAP SCREW
極低頭ねじ
(4)
33
#02
401-47523 PLATE_SUPPORT
プレートサポート
2
34
#02
SL-6061492-TN SCREW M6 L=14
座金付き六角穴ボルト Ｍ６ Ｌ＝１４
4
- 7 -
4. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(2)
ベースフレーム電装関係（２）
1 4
41
31
12
18
17
6
7
5
44
43
39
40
14
16
15
10
13
11
32
38
8 9
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68
46
47
47
48 69
56
64
65
64
65
56
56 49
5061 66
62
63
45
25
30
21
22
19
20
21 22
23 24
42
13