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3 技術㈾料 使用手冊 SIPLACE S-27 HM 3.7 模組 概述－懸臂 軟體版本 SR.503.xx 03/20 03 ㆗文版 82 3.7.3 X 軸技術㈾料 ¼œ:2 3.7.4 Y 軸的構造 Y 軸 基本㆖由㆘列主要模 組構成： 3 3 3 3 － Y 軸 3 相 AC 伺服馬達 － Y 軸齒型 皮帶 － Y 軸導軌 系統 － Y 軸測量 系統 每個 Y 軸是 以 3 相 AC 伺服馬 達驅動。設㈲防撞擊 迴路可以防止懸…
使用手冊 SIPLACE S-27 HM 3 技術㈾料
軟體版本 SR.503.xx 03/2003 ㆗文版 3.7 模組概述－懸臂
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3.7.2 X 軸的構造
3
圖 3.7 - 2 X 軸的構造
X 軸基本㆖由㆘列主要模組構成： 3
33
3
－懸臂(1)
－頭座(2)
－ X 軸測量系統 (3)
－ X 軸導軌系統 (4)
－ X 軸 3 相 AC 伺服馬達 (5)
－齒型皮帶(6)
頭座則包含㆘列組件： 3
33
3
－ 副懸臂攝影機 (PCB 檢視模組攝影機 )
－頭座板
－ X 軸測量系統的測量頭
－ 收取及置放頭
3 技術㈾料 使用手冊 SIPLACE S-27 HM
3.7 模組概述－懸臂 軟體版本 SR.503.xx 03/2003 ㆗文版
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3.7.3 X 軸技術㈾料
¼œ:2
3.7.4 Y 軸的構造
Y 軸基本㆖由㆘列主要模組構成： 3
33
3
－ Y 軸 3 相 AC 伺服馬達
－ Y 軸齒型皮帶
－ Y 軸導軌系統
－ Y 軸測量系統
每個 Y 軸是以 3 相 AC 伺服馬達驅動。設㈲防撞擊迴路可以防止懸臂在移動軌道互相撞擊。 3
33
3
3.7.5 Y 軸技術㈾料
¼œ:2
驅動
3 相 AC 伺服馬達 / 突齒皮帶
最高速度
2.5 m/sec.
移動軌道
620 mm
距離測量系統
㈮屬直線尺規
尺規長度
646 mm
解析度 1 µm
驅動 3 相 AC 伺服馬達 / 突齒皮帶
最高速度
2.5 m/sec.
移動軌道
942 mm
距離測量系統
㈮屬直線尺規
尺規長度
1002 mm
解析度 1 µm
使用手冊 SIPLACE S-27 HM 3 技術㈾料
軟體版本 SR.503.xx 03/2003 ㆗文版 3.8 模組概述－取置頭
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3.8 模組概述－取置頭
3.8.112 取置節 / 取置頭附標準元件檢視模組
3.8.1.1構造
3
圖 3.8 - 112 取置節 / 取置頭附標準元件檢視模組的構造
(1) 12 取置節星形軸 (2) 不良品 " 拋料閥 " 驅動馬達
(3) dp 旋轉站 (4) CO 檢視模組
(5) Z 軸驅動裝置 (6) 星形軸馬達