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安装要领书 5 3- 3. 基板的传送 请取下传送轨道的气泡包装材料。 图 3-3-1 图 3-3-2 图 3-3-3
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3-2.
安全防护罩
请揭下安全防护罩 F 和安全防护罩 R 上贴的纤维丝带。
图 3-2-1
注意
打开包装后，千万别在装置上面放置重物。
防护罩 F
主机
纤维丝带
防护罩 R
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3-3.
基板的传送
请取下传送轨道的气泡包装材料。
图 3-3-1
图 3-3-2 图 3-3-3
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4.
基板传送高度和水平的调整
4-1.
水平调整
１） 卸下覆盖调节部分的护罩 FB（正面）和护罩
RB（背面），松开内六角螺栓（3 个）及调节
螺母。
２） 按①→③→②→④→①→的顺序可以很容易
地提升调节器的高度。
３） 调整前后方向的水平。将水平仪放在图 4-1-2
所示的位置上，上下移动调节器①②､③④进
行水准调整，参照附在包装箱内的水准设定
表，调整到该表设定值±1 刻度以内｡
※ 传送高度： H = 900mm （950mm: EN 规格时）
４） 调整左右方向的水平。将水平仪放在图
4-1-2 所示的位置上，上下移动调节器
①④､②③进行水准调整，参照附在包装箱
内的水准设定表，调整到该表设定值±1
刻度以内｡
５） 反复进行第 3､4 步操作，调整到左右方向
和前后方向所放的水平仪达到规格范围内
｡
（使用的水平仪
１Ｄｉｖ＝０．０５ｍｍ／Ｍ）
正面
图 4-1-1
底面图
图 4-1-2
向左右方向调整时的水平仪位置
向前后方向调整时的水平仪位置