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安装要领书 6 4. 基板传送高度和水平的调整 4- 1. 水平调整 １） 卸下覆 盖调节部分的护罩 FB （正面）和护罩 RB （背面） ， 松开内六角螺栓（ 3 个）及调节 螺母。 ２） 按 ①→③→②→④→①→ 的顺序可以很容易 地提升调节器的高度。 ３） 调整前后方向的水平。将水平仪放在图 4-1-2 所示的 位置上，上下移动调节器 ①② ､ ③④ 进 行水准调整，参照附在包装箱 内的 水准 设定 表，调整到该表设定值 ±1 刻…
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3-3.
基板的传送
请取下传送轨道的气泡包装材料。
图 3-3-1
图 3-3-2 图 3-3-3
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4.
基板传送高度和水平的调整
4-1.
水平调整
１） 卸下覆盖调节部分的护罩 FB（正面）和护罩
RB（背面），松开内六角螺栓（3 个）及调节
螺母。
２） 按①→③→②→④→①→的顺序可以很容易
地提升调节器的高度。
３） 调整前后方向的水平。将水平仪放在图 4-1-2
所示的位置上，上下移动调节器①②､③④进
行水准调整，参照附在包装箱内的水准设定
表，调整到该表设定值±1 刻度以内｡
※ 传送高度： H = 900mm （950mm: EN 规格时）
４） 调整左右方向的水平。将水平仪放在图
4-1-2 所示的位置上，上下移动调节器
①④､②③进行水准调整，参照附在包装箱
内的水准设定表，调整到该表设定值±1
刻度以内｡
５） 反复进行第 3､4 步操作，调整到左右方向
和前后方向所放的水平仪达到规格范围内
｡
（使用的水平仪
１Ｄｉｖ＝０．０５ｍｍ／Ｍ）
正面
图 4-1-1
底面图
图 4-1-2
向左右方向调整时的水平仪位置
向前后方向调整时的水平仪位置
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６） 锁定调节器螺母。此时，请确认在锁定状态下书评应在设定值±1 刻度以内。
７） 固定调节器的六角孔螺栓 A(3 根)。
图 4-1-3
4-2.
调节脚的地面防滑
标准的调节脚应做地面防滑处理。
1） 机器调整水平后，转动 M ８×３０（１２处）接触地面，从其位置转动 45 度。
2） 用 M8 螺母拧紧固定。
图 4-2-1
六角孔螺栓 A