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NPM-W2S 2018.0416 - 123 - 13. 尺寸图 ( 单位 : mm) ■ 交换台车连接时 Remarks 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上 讲，并不完全一致。 在研讨生产线构成和尺寸时，请另行 索取资料。 本机下部如有设置通风道等时，请确保与 主体间空隙保持 40 mm 以上。 单轨传送带规格 双轨传送带规格 电源 Air 基板传送基准 基板传送基准 ( 前侧轨道 ) 基板传送基准 ( 后…
NPM-W2S 2018.0416
- 122 -
12.2 空气投入部
后 侧
空气软管 (长度: 5 m)
80PN
(
日东工器
)
30SM-TS
(
日东工器
)
工厂侧配管连接口
直径
: Rc3/8
设备附带部件 客户准备
NPM-W2S 2018.0416
- 123 -
13.
尺寸图
(单位: mm)
■ 交换台车连接时
Remarks
上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲，并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时，请另行索取资料。
本机下部如有设置通风道等时，请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
单轨传送带规格 双轨传送带规格
电源
Air
基板传送基准
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
前 侧
前 侧
交换台车
交换台车
基板传送高度
1,280 (传送带长度)
1
,
265
(
罩
外形
)
Air
电源
NPM-W2S 2018.0416
- 124 -
(单位: mm)
■ 单式托盘供料器连接时
■ 双式托盘供料器连接时
单式托盘供料器
13 站供料器座
交换台车
前 侧
单轨传送带规格 双轨传送带规格
前 侧
板传送基准
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
)
Air
电源
双式托盘供料器
交换台车
前 侧
单轨传送带规格 双轨传送带规格
前 侧
板传送基准
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准
(后侧轨道)
Air
电源