NPM-WX&-WXS_规格说明书_Ver.2024.0718.pdf.pdf - 第204页
NPM-WX / WX S 20 24. 0718 - 198 - 13. 尺寸图 ( 单位 : mm) ■ 交换台 车 ( 30 站 ) 连接 时 Remarks • 上述示图的缩小比例与 实际机器在严 格上讲,并不完全 一致。 在研讨生产线构成和尺 寸时,请另行 索取资料。 • 本机下部如有设置通风 道等时,请确 保与主体间空隙 保持 40 mm 以上。 单轨传送带规格 双轨传送带规格 基板传送基准 ( 后侧轨道 ) 基…

NPM-WX / WXS 2024.0718
- 197 -
12.2
空气投入部
后 侧
30PM
(NITTO KOHKI)
30SM
(NITTO KOHKI)
工厂侧管道连接
直径
: Rc3/8
气压软管
(选购项)
附属于设备
客户准备

NPM-WX / WXS 2024.0718
- 198 -
13.
尺寸图
(单位: mm)
■ 交换台车(30站)连接时
Remarks
• 上述示图的缩小比例与实际机器在严格上讲,并不完全一致。
在研讨生产线构成和尺寸时,请另行索取资料。
• 本机下部如有设置通风道等时,请确保与主体间空隙保持 40 mm 以上。
单轨传送带规格
双轨传送带规格
基板传送基准
(后侧轨道)
基板传送基准
(前侧轨道)
Air
30 站交换台车
30 站交换台车
基板传送基准
电源
(传送带长度)
基板传送高度
(罩外形)

NPM-WX / WXS 2024.0718
- 199 -
(単位: mm)
■
交换台车(
17
站
)
连接时
■
单式托盘供料器连接时
/
交换台车
(17
站
)
单轨传送带规格
双轨传送带规格
单轨传送带规格
双轨传送带规格
17 站交换台车
17 站交换台车
基板传送基准
基板传送基准
(后侧轨道)
基板传送基准
(前侧轨道)
17 站交换台车
17 站交换台车
S 托盘供料器
S 托盘供料器
基板传送基准
(后侧轨道)
基板传送基准
(前侧轨道)
基板传送基准