RX-7_InstructionManual_Rev03_C.pdf - 第66页
第 3 章 导入篇 3- 1. 安装 6 2 为了对准本机前工序和后工序的基板搬送高度，要用扳手旋转底部 7 个脚的六角螺母 来调整基板搬送高度。 向右旋转为下降 ，向左旋转为 上升。 注意 • 脚高度调整用六 角螺母的 2 面宽度为 64m m 。 (a) 锁定用螺母 (b) 脚的六角螺母 (c) 脚 3 使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调，以确保 X 轴和 Y 轴的水平器显示的水平度在 0.05mm 以下（ 1 刻度为 0.02mm…
第
3
章
导入篇
3-1.
安装
5
3
3-1-3. 安装 RX-7
根据导入的安装系统生产线的基板搬送规格，调整本机的基板搬送面和搬送高度。
本机单机的基板搬送规格如下所示。
1
拆下固定本机后部的盖子（护罩）
M4
内六角螺栓
X4
，在水平器安装用空间的
X
方向
和
Y
方向上各放
1
个水平器。
(a)
水平器
基板传送高度
基板传送面：本机正面侧的输送带上面
M4×10
内六角螺栓
4
根
900 -10/+30 mm
第
3
章 导入篇
3-1.
安装
6
2
为了对准本机前工序和后工序的基板搬送高度，要用扳手旋转底部
7
个脚的六角螺母
来调整基板搬送高度。
向右旋转为下降，向左旋转为上升。
注意
•
脚高度调整用六角螺母的
2
面宽度为
64m
m。
(a)
锁定用螺母
(b)
脚的六角螺母
(c)
脚
3
使用扳手旋转各脚的六角螺母进行微调，以确保
X
轴和
Y
轴的水平器显示的水平度在
0.05mm
以下（
1
刻度为
0.02mm
的水平器为
2
刻度以下，
1
刻度为
0.05mm
的水平器
为
1
刻度以下）。
下降
上升
第
3
章
导入篇
3-1.
安装
7
3
3-1-4. 取下固定托架
导入本机时，使用六角扳手套件，将固定
XY
轴移动部分的托架，以及固定支撑台的移动部分托架卸下
来。
警告
如果不把固定移动部分的托架全部拆掉，则有造成本机损坏，导致
人身事故的危险性。
XY
轴固定用托架（
2
处）
将通过支架连接着支柱的
Y
轴移动部分的
3
根六角孔螺栓卸下来，取下托架。
。
(a) X
轴固定用托架（
CP
螺栓
M5 × 10
）
(b) Y
轴固定用托架（
CP
螺栓
M5 × 10
）
注意
•
请妥善保管取下的托架。