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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简 体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 163 晶圆交换器 根据装配位置不同 （2 号和 4 号或 1 号 和 3 号）使用两种不同版本的晶 圆交换器。 3 图 . 3.7 - 26 主要夹持器模块 （2 号、4 号位置） 3 (1) 夹持器 (2) 齿形带轴 (3) 条形码扫描仪 （可选）的安装…
3 技术数据
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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晶圆盘升降机
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图 . 3.7 - 25 晶圆盘升降机
(1) 带有用于装放 8" 和 12 " 晶圆盘盒交换板的晶圆盘单元
(2) 马达
(3) 带有保护盖的晶圆交换器
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《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 3 技术数据
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
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晶圆交换器
根据装配位置不同 （2 号和 4 号或 1 号和 3 号）使用两种不同版本的晶圆交换器。
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图 . 3.7 - 26 主要夹持器模块 （2 号、4 号位置）
3
(1) 夹持器 (2) 齿形带轴
(3) 条形码扫描仪 （可选）的安装位置 (4) 保护盖下方的 AD-MOT 板
(5) 带耦合的马达
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3.7 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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图 . 3.7 - 27 主要夹持器模块 （1 号、3 号位置）
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(1) 夹持器 (2) 齿形带轴
(3) 条形码扫描仪 （可选）的插入位置 (4) AD-MOT 板
(5) 带耦合的马达
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