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目录《用户手册》 SIPLACE CA- 系列使用软件版本 SC.707.0 或更新 201 3 年 10 月版简体中文 6 2.13 ESD 使用说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111 2.13.1 ESD…

《用户手册》 SIPLACE CA- 系列目录

使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版简体中文

2.6.5 移动元件料车的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

2.6.6 清空废料带容器时的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68

2.6.7 废料箱与 C&P20 M 贴片头元件传感器发生碰撞的危险. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69

2.6.8 设备的 ESD 安全 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69

2.6.9 持续工作时 C&P20 M 贴片头上的高温. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70

2.6.10 持续工作时 X 供料器模块上的高温. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71

2.7 操作 SWS 的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .72

2.7.1 对晶圆台作业的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72

2.7.2 更换晶圆盘的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72

2.7.3 关闭保护盖时的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

2.7.4 线性浸渍单元（LDU）的安全须知 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73

2.8 安全功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .74

2.8.1 保护盖 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74

2.8.2 设备和 SWS 上的开关和按钮 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76

2.8.2.1 设备和 SWS 上开关和按钮的位置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76

2.8.2.2 贴片机上开关和按钮的功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78

2.8.2.3 S WS 上开关和按钮的功能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80

2.8.2.4 贴片机上的保护开关位置. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81

2.8.3 保护接触器组合和维修插座的位置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 83

2.8.4 SIPLACE 和 SWS 的急停回路和信号电路 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 84

2.8.4.1 SIPLACE 急停回路的结构 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85

2.8.4.2 信号电路的结构 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86

2.8.4.3 SIPLACE 急停回路的功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86

2.8.4.4 SWS 急停回路的结构和控制 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88

2.8.4.5 SWS 急停回路的功能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88

2.8.5 元件料车的装配位置的护手装置，SIPLACE X- 系列 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90

2.9 残余电压和放电时间. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .91

2.9.1 （贴片）设备. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91

2.9.1.1 按下 EMERGENCY STOP （急停）按钮后的残余电压和放电时间 . . . . . . . . . . .92

2.9.1.2 关闭主电源开关后的残余电压和放电时间. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93

2.10 停用压缩空气供给和释放压力 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .94

2.11 关闭主开关后的能量状况 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .97

2.11.1 贴片机上的主开关 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97

2.11.1.1 设备主电源开关已关闭，但仍接通电源 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101

2.11.1.2 设备主电源开关已关闭并已断开电源 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105

2.11.1.3 主电源开关关闭后贴片机中压缩空气的情况. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105

2.11.2 SWS 的主开关 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105

2.12 上锁和挂牌程序 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .106

2.12.1 目的及范围 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106

2.12.2 说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106

2.12.3 测试 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109

2.12.4 责任和义务 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109

2.12.5 培训 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110

2.12.6 审查 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110

目录《用户手册》 SIPLACE CA- 系列

使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版简体中文

2.13 ESD 使用说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111

2.13.1 ESD 代表什么？ . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111

2.13.2 防止静电充电的重要措施 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111

2.13.3 如何处理 ESD 模块 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111

2.13.4 对 ESD 模块的测量与修改 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112

2.13.5 派送 ESD 模块 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112

3 技术数据. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113

3.1 SIPLACE CA 的性能数据 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113

3.1.1 C&P20 M 的最大值. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 114

3.1.2 技术数据 - SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115

3.1.3 技术数据 - SMT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116

3.2 元件供料. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117

3.3 SIPLACE CA 额定值 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118

3.3.1 电气额定值 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118

3.3.2 压缩空气供应和规格 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119

3.4 SIPLACE CA 的尺寸和重量 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120

3.4.1 CA4 贴片机尺寸 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120

3.4.2 打开的保护盖的高度 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122

3.4.3 设备支脚的间隙和 PCB 传送导轨的固定边缘. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123

3.4.3.1 设备支脚间隙和单 PCB 传送导轨的固定右侧边缘 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123

3.4.3.2 设备支脚间隙和单 PCB 传送导轨的固定左侧边缘 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124

3.4.3.3 设备支脚间隙和双 PCB 传送导轨的固定右侧边缘 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 125

3.4.3.4 设备支脚间隙和双 PCB 传送导轨的固定左侧边缘 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126

3.4.4 技术数据 - 尺寸. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 127

3.4.5 技术数据 - 重量和环境温度. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 128

3.4.6 CA4 设备元件料车的操纵距离 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 129

3.4.7 CA- 系列设备的重心 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 130

3.4.8 SWS 的重心 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131

3.5 生产线概念 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132

3.5.1 说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132

3.6 模块总览. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134

3.6.1 SIPLACE CA4 模块总览. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 134

3.7 SIPLACE 晶圆系统（SWS）. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135

3.7.1 SIPLACE 晶圆系统（SWS）功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135

3.7.2 基本 SWS 功能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136

《用户手册》 SIPLACE CA- 系列目录

使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版简体中文

3.7.3 基本晶粒呈现处理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137

3.7.3.1 倒装片处理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 138

3.7.3.2 晶粒贴附处理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 139

3.7.3.3 晶粒的识别和定位 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140

3.7.3.4 推送处理. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 140

3.7.3.5 拾取处理. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141

3.7.4 拾取和转送处理详解. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141

3.7.4.1 倒装片段位器 1 （吸嘴） . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 141

3.7.4.2 倒装片段位器 1 （Ｚ方向）. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142

3.7.4.3 晶粒贴附 - 转送位置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 143

3.7.4.4 倒装片经编码位置（校准后） . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 144

3.7.5 模块总览. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 147

3.7.6 SWS 模块说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150

3.7.6.1 供应单元. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150

3.7.6.2 倒装单元. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151

3.7.6.3 晶圆相机系统 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153

3.7.6.4 晶圆台 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 154

3.7.6.5 晶粒推送器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157

3.7.6.6 推送工具. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 159

3.7.6.7 晶圆交换系统 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 160

3.7.7 可选元件. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 165

3.7.7.1 线性浸渍单元（LDU）. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 165

3.7.7.2 晶粒贴附单元 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 166

3.7.7.3 小晶粒套件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 167

3.7.7.4 晶圆布局图系统 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 167

3.7.7.5 条形码扫描仪 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 168

3.7.8 技术数据. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 168

3.8 贴片头 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .169

3.8.1 CA4 贴片机上的贴片头配置 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 169

3.8.2 用于高精确度贴片的 SIPLACE SpeedStar （C&P20 M）贴片头 . . . . . . . . . . . . 170

3.8.2.1 说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .172

3.8.2.2 控制和自我学习功能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173

3.8.2.3 功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .174

3.8.2.4 技术数据. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 178

3.8.2.5 元件抛料仓传感器 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 178

3.9 电气和气动连接 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .179

3.9.1 电气连接（贴片机）). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179

3.9.2 贴片机上的气动连接. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 180

3.9.3 SWS 上的电气和气动连接 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 181

3.10 贴片机上的控制部件. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .182

3.10.1 控制部件和显示装置. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 182

3.10.2 说明 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 183

3.10.3 控制部件的人体工程学布局 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 184

3.10.3.1 贴片机操作员面板上的控制部件. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185

3.10.3.2 贴片机输入和输出侧的控制部件. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 185

3.11 SWS 上的控制部件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .186

3.11.1 控制部件和显示装置. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 186