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2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 2.7 操作 SWS 的安全须知 使用软件版本 SC.707.0 或更新 201 3 年 10 月版 简体中文 72 2.7 操作 SWS 的安全须知 2.7.1 对晶圆台作业的安全须知 2 2.7.2 更换晶圆盘的安全须知 2 2 警告 有夹伤危险！ 悬臂和晶圆台可能夹住并压伤肢体。 切勿 将肢体伸入到晶圆台方向晶圆 盘升降机的缝隙中。 警告 晶圆盘较重！ 一个装满的晶圆盘…
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 2 操作安全
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 2.6 操作贴片机时的安全须知
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2.6.10 持续工作时 X 供料器模块上的高温
2
T：图 3.0 - 1 持续工作时 X 供料器模块上的高温
(1) 温度信息铭牌 [03031926-01]
(2) 步进马达
2
谨慎
高温导致烫伤的危险！
在持续工作和在温度超过 22 °C 的环境中工作时，步进马达的温度可能会变得非常高。
接触马达时千万要小心。
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE CA- 系列
2.7 操作 SWS 的安全须知 使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文
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2.7 操作 SWS 的安全须知
2.7.1 对晶圆台作业的安全须知
2
2.7.2 更换晶圆盘的安全须知
2
2
警告
有夹伤危险！
悬臂和晶圆台可能夹住并压伤肢体。
切勿
将肢体伸入到晶圆台方向晶圆盘升降机的缝隙中。
警告
晶圆盘较重！
一个装满的晶圆盘可以重达 25 kg。
拿放晶圆盘时请小心。
如有需要，请再安排一个人进行协助。
谨慎
非正确使用带来损坏的危险！
如果使用不正确，晶圆盘和晶圆升降机可能会被损坏。
请确保晶圆盘上没有任何突出的物体。
请确保正确的晶圆盘已经被正确地放置在晶圆盘升降板上。
《用户手册》 SIPLACE CA- 系列 2 操作安全
使用软件版本 SC.707.0 或更新 2013 年 10 月版 简体中文 2.7 操作 SWS 的安全须知
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2.7.3 关闭保护盖时的安全须知
2
– 设备运行期间 SWS 的推拉门可以被打开以更换晶圆盘 - SWS 将继续生产。打开此门仅会停
用晶圆盘升降机。
– 如打开保护罩即将 SWS 设定为紧急关闭状态。
2.7.4 线性浸渍单元 （LDU）的安全须知
2
警告
有夹伤的危险！
在关闭保护盖时有夹住和夹伤手的危险。
在打开或关闭推拉门时，务必握住所提供的握槽。
关闭保护盖时，不要将肢体伸入保护盖或推拉门与贴片机外壳间的缝隙中。此区域已
用黑黄双色警告条标明。
危险
有害物质 （焊剂）！
用于线性浸渍单元的焊剂对健康有危害！
请确保阅读与焊剂一同提供的安全数据表 （《材料安全数据表》 - MSDS）
请确保遵守其中的所有规定。
在填装和清洁 LDU 以及在弃置焊剂时，请穿戴要求的防护服 （如，呼吸保护装置、
手套、护目镜）。