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2 - 19 2.2 异常显示下的故障处理 0 70 3 - 00 1 Table 4B10 异常 ID 异常名、说明、要因以及复位方法 0214000 工作台 Z 轴 连动锁定 工作台 X 轴接近了连动锁定范围内。 ( 要因 1) 工作台 X 轴连动锁定传感器 (B4E、B4F) 不良。 ( 要因 2) 动作定时不一致。 ( 复位方法 1) 请在“装置诊断”子菜单确认传感器的动作。传感器没有反应时,需要更换传 感器,请联系本公司服务部…

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