KE-2070.2080安装要领书.pdf - 第36页

Rev.1.00c 安装要领书 14-2. TR-6SN 和 TR-6DN TR-6SN 、 TR-6DN 的安装图下图所示的位置进行安装。 前后方向应根据能让基板能顺畅地通过传送基准轨道侧进行设置。 图 14-2-1 TR-6DN 的安装外观 32

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Rev.1.00c
安装要领书
14. MTCMTS 的连接
14-1. 接口操作盘
14-1-1 主机左侧面 14-1-2 主机右侧面
(TR-6SN TR-6DN)
14-1-3 主机右后面
(TR-5SN TR-5DN)
请把 MTC 电源插头和信号插头连接到主机右
侧面的接口操作盘上,把空气软管连接到 MTC
用空气接头。
MTS 电源插头和信号插头连接到主机右后
面的接口操作盘上,把 MTS 用空气接头。
注意 电缆线和软管请使用 MTC MTS
属品。
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安装要领书
14-2. TR-6SN TR-6DN
TR-6SNTR-6DN 的安装图下图所示的位置进行安装。
前后方向应根据能让基板能顺畅地通过传送基准轨道侧进行设置。
14-2-1 TR-6DN 的安装外观
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安装要领书
14-3. TR-5SNTR-5DN
TR-5SNTR-5DN 按照右图所示的位置进行安装。
14-3-1 TR-5SN 安装外观图
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