SPCworks 中文说明[REV 1.2].pdf - 第37页
3. 统计 系 工程分 析和工程控制 PARMI CO ., LTD. 27 REV 1 .2 [ 表 3- 4] 分 析 数 据 的 资 料 构 造 部分 群( 基板) 编号 测 定 值 平均 范 围 标 准 偏差 1 11 x 12 x … n x 1 1 x 1 R 1 S 2 21 x 22 x … n x 2 2 x 2 R 2 S . . . . . . . . . . . . . . . k 1 k x 2 k x … k…

SPCworks 统计软件
SPI HS30
26
REV 1.2
3.6 工程管理图
SPCworks软件提供的是Shewhart
s
3
管理图.Shewhart
s
3
管理图是以各打点统计量平均值做为中
心线(CL : Center Line),以打点平均值±3倍标准偏差值为管理上限线(UCL : Upper Control Line)
和管理下限线(LCL : Lower Control Line)来设定并观察工程管理状态的图形. 各打点统计量是pad
选择窗口定义的部分群(打点统计量的平均值是各部分群形成的pad测定值的平均值,标准偏差是
各部分群形成的pad测定值的平均值的偏差).
3.6.1 管理图类型及资料构造
[管理图类型]
管理图按照部分群大小分为如下三种。以pad选择窗里所选的pad数为基准,SPCworks软件自动分
析后从3种当中选一项管理图。Pad个数分析类型如下[表 3-3].
[表 3-3]pad个数别管理图类型
Pad数
1 2~10 11 以上
管理图类型
X-bar & MR X-bar & R-chart X-bar & S-chart

3. 统计系工程分析和工程控制
PARMI CO., LTD.
27
REV 1.2
[表 3-4] 分析数据的资料构造
部分群(基板) 编号
测定值 平均 范围 标准偏差
1
11
x
12
x …
n
x
1
1
x
1
R
1
S
2
21
x
22
x …
n
x
2
2
x
2
R
2
S
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
k
1k
x
2k
x …
kn
x
k
x
k
R
k
S
总平均
x
R
S
(
k
: 部分群大小(基板数),
n
: 部分群大小(pad数) )
●
i
x ( i 次部分群平均) :
å
=
=
n
j
iji
x
n
x
1
1
●
i
R ( i 次部分群范围) :
ijjijji
xxR minmax -=
●
i
S ( i 次部分群标准偏差) :
å
=
-
-
=
n
j
iiji
xx
n
S
1
2
)(
1
1
● 总平均 :
å
=
=
k
i
i
x
k
x
1
1
;
å
=
=
k
i
i
R
k
R
1
1
;
å
=
=
k
i
i
S
k
S
1
1
为了绘制管理图,必须先得出西格玛(
s
),使用的系数表 )(
2
nd 、 )(
4
nc 如下.
[表 3-5] 系数表 : )(
2
nd
N
系数
2 3 4 5 6 7 8 9 10
)(
2
nd
1.128
1.693
2.059
2.326
2.534
2.704
2.847
2.970
3.078
)(
3
nd
0.853
0.888
0.880
0.864
0.848
0.833
0.820
0.808
0.797
(n : 部分群大小(pad数) )
)(
4
nC 是部分群大小(n)常数以存。 )(
4
nC 值是小于1,但部分群内(n)增大时接近1常数.
)(
4
nC =
)
2
1
(
)
2
(
1
2
-
G
G
×
-
n
n
n
, )1()(
-
=
G
nn !
[表 3-6] 系数表 : )(
4
nc

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SPI HS30
28
REV 1.2
N
)(
4
nc
N
)(
4
nc
n
)(
4
nc
n
)(
4
nc
1 - 11 0.975 21 0.988 31..40 0.993
2 0.798 12 0.978 22 0.988 41..50 0.994
3 0.886 13 0.979 23 0.989 51..60 0.995
4 0.921 14 0.981 24 0.989 61..70 0.996
5 0.940 15 0.982 25 0.990 71..80 0.997
6 0.952 16 0.983 26 0.990 81..90 0.997
7 0.959 17 0.984 27 0.990 91..100 0.997
8 0.965 18 0.985 28 0.991 101..200 0.998
9 0.969 19 0.986 29 0.991 201..300 0.999
10 0.973 20 0.987 30 0.991 300 초과 0.999
[设定部分群最大数]
pad选择窗口里所选择pad数量没有界限. 但pad数量增加同时分析所需要时间也增加,所以检测机
检测作业时有影响。为了检测机正常工作有必要控制部分群pad数量最大数.
在SPCworks点击 Config -> Maxpads/Panel Number
菜单时如下窗口创建[图 3-27] .
MaximumpadNumber Per Panel :部分群最大数设定范围是10~500。
[图 3-27] 指定部分群最多数(n)
3.6.2 平均值管理图(
x
Control Chart)
平均值管理图是各部分群pad平均值(
x
)的管理图. 在管理图内每个打点是部分群内pad的平均(
x
),
中心线是各打点平均值的总平均(
x ). (打点是各基板内 选择pad数据的测定平均值,中心线是
测定平均值的总平均. 以下公式是中心线, 管理上限线,管理下限线, n 是部分群形成的pad数量.