FX-3操作手册（程序员，管理员）.pdf - 第195页
操作手册 II Rev00 2-156 (1) 操作 图 2-5-4-1-1-3 基板传送画面 操作 1)传送动作 选择传送动作。可选择搬入、搬出基板、释放基板、重夹。 启动时（默认）选择“搬入” 。 2)运行站点 可选择执行传送动作的站点。 默认选择入口站点。 3)搬入后的 BOC 校准设置 选择基板刚搬入后是否立即执行 BOC 校准。 ● “按选项执行” 按照操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。 ● “必须执行” 必须进行…
操作手册 II Rev00
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2-5-4-1 传送
2-5-4-1-1 基板控制
可进行基板的搬入、搬出。选择菜单后，如果安全盖在打开的状态，为了将轴移动到安全位
置等待，会显示如下信息。
请确认安全后，按下“继续”按钮。
图 2-5-4-1-1-1 确认安全
将轴移动到安全位置等待后，会显示下列基板传送画面。
图 2-5-4-1-1-2 基板传送
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(1) 操作
图 2-5-4-1-1-3 基板传送画面 操作
1)传送动作
选择传送动作。可选择搬入、搬出基板、释放基板、重夹。
启动时（默认）选择“搬入”。
2)运行站点
可选择执行传送动作的站点。
默认选择入口站点。
3)搬入后的 BOC 校准设置
选择基板刚搬入后是否立即执行 BOC 校准。
● “按选项执行”
按照操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。
● “必须执行”
必须进行 BOC 标记识别。
● “不执行”
不执行 BOC 标记识别。
4)基板基准、传送方向
显示传送道路信息。
(2) 显示传送动作
图 2-5-4-1-1-4 基板传送画面 显示传送动作
以图形化显示设定的传送动作，以及在操作站点传送状态的变化。
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(3) 状态
逐项显示当前的基板传送内容及动作状况。
图 2-5-4-1-1-5 基板传送画面 状态
·按< START >开关或“执行”按钮进行传送。
·要结束操作时，请按“关闭”按钮。
·在传送过程中因某种原因想取消操作时，可按< STOP >开关停止。
2-5-4-1-2 自动调整基板宽度
可调整基板传送宽度。
选择菜单后，显示如下的画面。
图 2-5-4-1-2-1 基板宽度的自动调整
(1) 移动基板幅度（调整基板宽度）
将传送宽度向基板外形尺寸+余宽的位置移动。运行时传送宽度值适用以下项目的设定值。
<步骤>
① 输入基板外形尺寸。
② 需要变更余宽时，请设
置余宽。
③ 单击“移动”。
(未进行“宽度回原点”
时，应先进行宽度回原
点)。