SP18 操作手册.pdf - 第132页
SP18P-L 操作手册 5.6 基板搬送测试 ( 基板夹紧力的调整 ) Page 5-14 5. 将伺服开关置于 OFF (O) 。 6. 打开前面安全盖。 7. 确认基板夹紧状态后，根据需要，旋转用 于夹紧基板的调节器旋钮来调整夹紧压 力。 • 请将调节器旋钮向上拉出后旋转。调 整完成后 将其压回。 ∗ 设定气压时， 先设定为比设定压力较低的值后， 再调整到设定压力。 • 气压值和基板夹紧力的关系如下所示 。 • 如果设定的气压不足…
SP18P-L
操作手册
5.6
基板搬送测试
(
基板夹紧力的调整
)
Page 5-13
5.6
基板搬送测试
(
基板夹紧力的调整
)
搬送导轨宽度、支撑销的调整结束后，在基板搬送画面进行基板搬送测试。基板搬送时，在画面上
基板搬送结束位置闪烁，如果搬送结束，则基板搬送开始位置的显示消失，在基板搬送结束位置被
显示。
在
<
数据修正
→
基板数据
>
画面上，可从高速
(
标准
)
、中速、低速、超低速中选择每个基板的搬
送速度。
另外，在把基板搬送到搬送传送带后，按照基板的形状、材质，调整基板夹紧力
(
固定基板的力
)
。
1.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
2.
按主菜单的
。
•
将显示
<
机器调整菜单
>
画面。
3.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
搬送动作
]
。
4.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
搬入
]
。
•
从前工序向搬送传送带搬送基板。
下一页
EJP1A-C-OMA05-A02-01
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-Ma-0003
4
EJP1A-Ma-0001
2
3
SP18P-L
操作手册
5.6
基板搬送测试
(
基板夹紧力的调整
)
Page 5-14
5.
将伺服开关置于
OFF (O)
。
6.
打开前面安全盖。
7.
确认基板夹紧状态后，根据需要，旋转用
于夹紧基板的调节器旋钮来调整夹紧压
力。
•
请将调节器旋钮向上拉出后旋转。调整完成后
将其压回。
∗
设定气压时，先设定为比设定压力较低的值后，
再调整到设定压力。
•
气压值和基板夹紧力的关系如下所示。
•
如果设定的气压不足
0.20 MPa
时，有夹具不动
作的情况。
气压
基板夹紧力
0.20 MPa 23.6 N
0.30 MPa 35.4 N
0.40 MPa 47.2 N
8.
关闭前面的安全盖。
9.
按下操作面板的
UNLOCK
+
[
搬出
]
。
•
从搬送传送带向后工序搬送基板。
10.
按下功能键的
。
•
将返回至
<
机器调整菜单
>
。
•
如果再次按下，将返回至
<
主画面
>
。
调节器调整方法
3
1
2
1:
锁定解除
2:
调整
3:
锁定
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-AA
EJP1A-432E
调节器旋钮
EJP1A-C-OMA05-A02-01
EJP1A-Ma-0003
9
10
SP18P-L
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5.7
印压示教
Page 5-15
5.7
印压示教
如果更换刮板，则随着刮板质量的变化，实际的印压与设定值不同。
更换刮板后，请务必进行印压示教。
1.
将伺服开关置于
ON ( I )
。
2.
按操作面板的
UNLOCK
+
[
印压
]
。
•
将移动到刮板更换位置。
•
因显示安装示教治具的信息，故请根据信息进
行操作。
(
4.5
印压示教
)
•
结束后，如果按
，将返回
<
主画面
>
。
EJP1A-C-OMA05-A02-02
O
FF ( )
ON (
)
SERVO
EJP1A-Ho-0002
EJP1A-Pd-0015
2