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RHS2B 维修手册 4.2 控制系统 DA4MCC – 14 – 02 0 – B0 4.2 - 5 MR-J2S-100B (用于 Z 轴) 图 4.2-5: MR- J2S-100B (用于 Z 轴) MR-J2-350B (用于 H 轴) 图 4.2-6:MR-J 2-350B ( 用于 H 轴)

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维护手册
4.2 控制系统
4.2 - 4 DA4MCC – 14 – 020 – B0
4.2.3 驱动器
MR-J2S-40B (用于 X、 H、A和 P 轴)
图 4.2-3: MR-J2S-40B (用于X、Hθ 、Aθ和P 轴)
MR-J2S-70B (用于Y 轴)
图 4.2-4: MR-J2S-70B (用于Y 轴)

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维修手册
4.2 控制系统
DA4MCC – 14 – 020 – B0 4.2 - 5
MR-J2S-100B (用于 Z 轴)
图 4.2-5: MR-J2S-100B (用于 Z 轴)
MR-J2-350B (用于 H 轴)
图 4.2-6:MR-J2-350B (用于 H 轴)

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维护手册
4.2 控制系统
4.2 - 6 DA4MCC – 14 – 020 – B0
4.2.4 光学模块布置
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图 1.1-7: 光学模块布置 (LL80)