RG131錯誤代碼使用说明书.pdf - 第64页

RG13 1 错误代码 表 2.4 错误代码 DA7ECC-91- 210-A0 2.4- 41 2734 搬送开始 条件不足 现象 不能开始搬送 。 要因 基板搬送开始 条件不足 。 对策 请确认基板搬 送开始条 件。 错误注意事项 2735 轨道下降 条件不足 现象 不能执行轨道 下降动作 。 要因 轨道下降条件 不足。 对策 请确认轨道下 降条件。 错误注意事项 2736 搬送扶手 移动条件 不足 现象 搬送臂不能动 作。 要因 …

100%1 / 76