FX-3R_（操作手册.管理员）OperationManual2_Rev00_C.pdf - 第196页
操作手册 II 2-157 2-5-4-1 传送 2-5-4-1-1 基板控制 图 2-5-4-1-1-1 确认安全 图 2-5-4-1-1-2 基板传送…
操作手册 II
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2-5-4 机器操作
图 2-5-4-1 选择机器操作的画面
菜单项目 子菜单 概要
传送
测量
检查
｢
｣
BOC 标记
基准领域标记
送料器台架标记
跟踪
操作手册 II
2-157
2-5-4-1 传送
2-5-4-1-1 基板控制
图 2-5-4-1-1-1 确认安全
图 2-5-4-1-1-2 基板传送
操作手册 II
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(1) 操作
图 2-5-4-1-1-3 基板传送画面 操作
1)传送动作
HMS
2)运行站点
*HMS 2
3)搬入后的 BOC 校准设置
4)基板基准、传送方向
(2) 显示传送动作
图 2-5-4-1-1-4 基板传送画面 显示传送动作