FX-3R_(操作手册.管理员)OperationManual2_Rev00_C.pdf - 第199页
操作手册 II 2-160 (2) 基板外形尺寸 (3) 余宽 (4) 动作状态 (5) 说明 (6) “基板传送”按钮 …

操作手册 II
2-159
(3) 状态
图 2-5-4-1-1-5 基板传送画面 状态
2-5-4-1-2 自动调整基板宽度
图 2-5-4-1-2-1 基板宽度的自动调整
(1) 移动基板幅度(调整基板宽度)

操作手册 II
2-160
(2) 基板外形尺寸
(3) 余宽
(4) 动作状态
(5) 说明
(6) “基板传送”按钮
(7) “宽度回原点”按钮

操作手册 II
2-161
2-5-4-2 测量
( CD)
注意
为了避免人身伤害,在机器运行过程中,切勿将手和头伸入装置内部。
2-5-4-2-1 测量模式
表 2-5-4-2-1-1 测量模式的内容与菜单
测量子菜单 运行模式 运行内容
单独
连续
2-5-4-2-2 测量操作
(1) 单独测量
设置单独测量的条件
图 2-5-4-2-2-1 设置单独测量条件