FX-3R_(操作手册.管理员)OperationManual2_Rev00_C.pdf - 第262页

操作手册Ⅱ 3-45 3-5-1-3 传送控制 在传送道路状态画面显示后,执行传送动作, 进行马达、支撑台、外形基准气缸/挡块等有关 控制。 图 3-5-1-3-1 基板传送画面 详情内容请参见“第 4 章的手动控制” 。

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操作手册Ⅱ
3-44
3-5-1-2 自动调整基板宽度
可进行基板传送宽度的调整。
3-5-1-2-1 自动调整基板宽度对话框
(1) 移动基板幅度 ([移动]按钮)
移动传送宽度,对准基板外形尺寸+余宽的位置。
运行时的传送宽度值,适用以下项目的设置值。
(2) 基板外形尺寸
用三角按钮或输入数值来设定基板外形尺寸。
默认值用基板数据的基板外形尺寸(Y方向)代入。
(3) 余宽
用三角按钮或输入数值来设定基板与传送通道的余宽。
(4) 动作状态
显示基板传送、宽度回原点、传送道上的动作状态。
(5) [基板传送]按钮
启动基板传送画面。
详见“第4章 4-5 手动控制”。
(6) [宽度回原点]按钮
基板宽度自动调整返回原点。
(7) [关闭]按钮
关闭自动调整基板宽度对话框。
操作手册Ⅱ
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3-5-1-3 传送控制
在传送道路状态画面显示后,执行传送动作,进行马达、支撑台、外形基准气缸/挡块等有关
控制。
3-5-1-3-1 基板传送画面
详情内容请参见“第 4 章的手动控制”
操作手册Ⅱ
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3-5-1-4 基板传送
在传感器状态画面显示后,执行传送动作,调整搬入、搬出基板、释放基板、重夹。
3-5-1-4-1 基板传送画面
详见“第 2 章的 2-5-4-1 传送”