FX-3R_（操作手册.管理员）OperationManual2_Rev00_C.pdf - 第468页
操作手册Ⅱ 5-33 清扫部位 5-3-13 风扇马达过滤器 实施频度 ： 每 6 个月 清扫内容 清扫风扇马达过滤器脏污 １) 请检查装置右侧面外壳上安装的风扇马达盖子 （过滤器）的脏污。 ２) 如果过滤器上附着明显的脏污（沾着垃圾和尘 埃），请将盖子拆下，去除过滤器的脏污。 （拉动盖子即可拆下。） ３) 如果过滤器的脏污很难去除， 或者过滤器有损坏 时，请用以下货号的过滤器进行更换。 风扇马达过滤器(5 个一套) 货号 HM0010…
操作手册Ⅱ
5-32
1) 接头的 A 面上若有灰尘、垃圾附着时，请用布沾上酒精擦干净。
A 面上有灰尘时，可能影响元件检查正常进行。
1) 请检查 OCC 的偏光滤光片上有无灰尘或异物。
有灰尘或异物时，请用气枪去除。
清扫部位
5-3-11 CVS（元件验证系统）（选购项）
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫 CVS 的灰尘、异物 使用工具：抹布 推荐溶剂 ：IPA
清扫部位
5-3-12 OCC（偏光滤光片）
实施频度： 每周
清扫内容 清扫 OCC（偏光滤光片）的灰尘、异物 使用工具： 气枪
偏光フィルタ
接头
接头
A面
偏光滤光片
操作手册Ⅱ
5-33
清扫部位
5-3-13 风扇马达过滤器
实施频度 ：每 6 个月
清扫内容 清扫风扇马达过滤器脏污
１) 请检查装置右侧面外壳上安装的风扇马达盖子
（过滤器）的脏污。
２) 如果过滤器上附着明显的脏污（沾着垃圾和尘
埃），请将盖子拆下，去除过滤器的脏污。
（拉动盖子即可拆下。）
３) 如果过滤器的脏污很难去除，或者过滤器有损坏
时，请用以下货号的过滤器进行更换。
风扇马达过滤器(5 个一套)
货号 HM001010020
４) 请检查装置内部上面中央部位外壳上安装的风
扇马达盖（过滤器）的脏污。另外，由于此部位
还有防止从装置上部混入异物的作用，也请检查
有无异物。
５) 如果过滤器上附着明显的脏污（沾着垃圾和尘
埃），请将盖子拆下，去除过滤器的脏污。
（拉动盖子即可拆下。）
６) 如果过滤器的脏污很难去除，或者过滤器有损坏
时，请用以下货号的过滤器进行更换。
风扇马达过滤器(5 个一套)
货号 HM001010020
７) 请检查装置内部上面安全盖旁边安装的风扇马
达盖（过滤器）的脏污。另外，由于此部位还有
防止从装置上部混入异物的作用，也请检查有无
异物。
８) 如果过滤器上附着明显的脏污（沾着垃圾和尘
埃），请将盖子拆下，去除过滤器的脏污。
要卸下时，把风扇马达固定在盖子上的 4 个螺丝
即可拆下。）
９) 如果过滤器的脏污很难去除，或者过滤器有损坏
时，请用以下货号的过滤器进行更换。
风扇马达过滤器(5 个一套)
货号 HM001010020
操作手册Ⅱ
5-34
1）请检查 Y 轴（侧面）的滚轮运行面上是否附着异物（芯片等），进行清扫。
滚轮运行面上的油不必擦去过多，需留下必要的。
清扫位置
5-3-14 Y轴（侧面）滚轮运行面
实施频度 ：每周
清扫内容 去除滚轮上的异物 使用工具 ：抹布
Y 轴(侧面)滚轮运行面
１） 滚轮上带有润滑零件，无需注油（机油、润滑油）。
２） 如果在滚轮上注油，油会飞散，请勿注油。
注
意