FX-3R_（操作手册.管理员）OperationManual2_Rev00_C.pdf - 第197页
操作手册 II 2-158 (1) 操作 图 2-5-4-1-1-3 基板传送画面 操作 1) 传送动作 HMS 2) 运行站点 * HMS 2 3)…
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2-5-4-1 传送
2-5-4-1-1 基板控制
图 2-5-4-1-1-1 确认安全
图 2-5-4-1-1-2 基板传送
操作手册 II
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(1) 操作
图 2-5-4-1-1-3 基板传送画面 操作
1)传送动作
HMS
2)运行站点
*HMS 2
3)搬入后的 BOC 校准设置
4)基板基准、传送方向
(2) 显示传送动作
图 2-5-4-1-1-4 基板传送画面 显示传送动作
操作手册 II
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(3) 状态
图 2-5-4-1-1-5 基板传送画面 状态
2-5-4-1-2 自动调整基板宽度
图 2-5-4-1-2-1 基板宽度的自动调整
(1) 移动基板幅度（调整基板宽度）