FX-3R_（操作手册.管理员）OperationManual2_Rev00_C.pdf - 第440页
操作手册Ⅱ 5-5 ○头盖的拆除方法 1)请用六角扳手拧下固定头盖的 4 个 M6× L30 内六角螺丝。 ○气缸的拆除方法 1）请对准外壳部位在压板上用油性笔做标记。 3)请向上拆除气缸。 2) 拆下头盖。 2)请戴上手套将风扇慢慢向上旋转。 （这时，必须要戴上手套）
操作手册Ⅱ
5-4
○准备更换
1） 请确认真空泵①没有运转。
（刚停止运行后温度很高，请注意）
2） 请打开左站点后侧电装部盖子。
(Rev J 以前的机器，在后侧中央开关盖内部)
3） 拆下连接真空泵的空气管，
用六角扳手拆下②的泵支撑架。
4） 从主机里拉出真空泵。
（拉出时请注意连接线。）
5） 打开接线盒的盖子，拆除连接到
接线柱上的电线③。
6） 用对边 5mm 的六角扳手拧下固定把手的
内六角螺丝 M6×L16。
7） 请拆下把手和面板。
请将泵纵向放置，使要更换的贴片头向上。
③
①
②
操作手册Ⅱ
5-5
○头盖的拆除方法
1)请用六角扳手拧下固定头盖的 4 个 M6×
L30 内六角螺丝。
○气缸的拆除方法
1）请对准外壳部位在压板上用油性笔做标记。
3)请向上拆除气缸。
2) 拆下头盖。
2)请戴上手套将风扇慢慢向上旋转。
（这时，必须要戴上手套）
操作手册Ⅱ
5-6
○压板、皮碗垫圈、吸气阀防干扰橡胶的拆除方法
１） 请用油性记号笔按照外壳标记部分在压板上
做标记。
3） 请拆除压板和皮碗垫圈。
2） 请拆下压板的 4 个小平头螺丝。