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0906-003-(M900WBB--2017) 基板搬送軸回路図 1 A37 5 6 3 4 2 1 5 6 3 4 2 1 5 6 3 4 2 1 5 6 3 4 2 1 CN2 CN3 CN4 CN5 CN7 CN8 CN9 CN10 3 4 5 2 1 NC 3 4 5 2 1 A NC B A B 3 4 5 2 1 A NC B A B 3 4 5 2 1 A NC B A B 1 2 4 3 7 8 6 5 N1 1 2 …
0906-003-(M900WBB--2016)
基板認識 X 軸回路図
E
AC
AC
A35
L206
L306
B351
+
L
OUT
-
A35-CN3
ORG
4
COM
7
COM
8
DOWN
3
SEN+
2
SEN+
CN3
1
X351
SIGB
SIGA
10A
10A
10A
24A3
24A3
24A3
GND8
+V7
信号線B6
A35-N2
N2
GND5
+V4
信号線A3
GND2
+V1
1 +V
2 GND
3 信号線A
4 +V
5 GND
N1
A35-N1
6 信号線B
7 +V
8 GND
24A3
24A3
24A3
10A
10A
10A
SIGA
SIGB
A33-N2
(基板認識Ｙ軸)
A23-N1
(基板上下軸)
FG
FG
A35-CN4
CN4
3
2
1
ERR+
EMG-
EMG+
ERR-
4
10A
24A7
+LS
5
-LS
6
+
L
OUT
-
B353
+
L
OUT
-
B354
A35-CN6
CN6
B
/B
A
/A
6
5
3
2
1
NC
NC
4
:6
:5
:4
:3
:2
赤
黄
黒
橙
青:1
:2
:4
X350
:1
X1350
M
:3
M35
M35
:1 白
X1351
ｺﾈｸﾀｹｰｽ
ｺﾈｸﾀｹｰｽ
:B2
:B3
:B1
:A4
:A2
:A1
:A3
:B4
:B2
:B3
:B1
:A4
:A2
:A1
:A3
:B4
基板認識Ｘ軸
原点
基板認識Ｘ軸
－オーバーラン
基板認識Ｘ軸
回転原点
基板認識Ｘ軸モータ
3-24
5OM-1501
0906-003-(M900WBB--2017)
基板搬送軸回路図 1
A37
5
6
3
4
2
1
5
6
3
4
2
1
5
6
3
4
2
1
5
6
3
4
2
1
CN2
CN3
CN4
CN5
CN7
CN8
CN9
CN10
3
4
5
2
1
NC
3
4
5
2
1
A
NC
B
A
B
3
4
5
2
1
A
NC
B
A
B
3
4
5
2
1
A
NC
B
A
B
1
2
4
3
7
8
6
5
N1
1
2
4
3
7
8
6
5
N2
ALM-
EMG-
ALM+
EMG+ 1
2
3
4
CN1
GND
GND
+V
COM B2
+V
COM A2
GND
+V
STOP
SEN+
DOWN
OT-
OT+
SEN-
STOP
SEN+
DOWN
OT-
OT+
SEN-
STOP
SEN+
DOWN
OT-
OT+
SEN-
STOP
SEN+
DOWN
OT-
OT+
SEN-
M37
1
2
3
4
CN6
GND
DC20～55V
A37-CN2
A37-CN4
A37-CN5
A37-CN7
A37-CN8
A37-CN9
A37-CN10
A37-CN6
A37-N1
A37-N2
A37-CN1
B371
+
L
OUT
-
A37-CN3
B371
+
L
OUT
-
M
:3
:3
:1
:6
:5
:4
白
黄
青
赤
橙
黒
A
B
A
B
M37
M37
M
:2
:3
:1
:6
:5
:4
M37
M41
M
:4
:2
:1
:3
白
青
黄
赤
M41
M43
10A
24A7
A25-N2
(テーブル幅軸)
GND
GND
+V
COM B2
+V
COM A2
GND
+V
A45-N1
(基板搬送軸ドライバ２)
+V
GND
信号線A
+V
GND
+V
GND
信号線B
+V
GND
信号線A
+V
GND
+V
GND
信号線B
48F1
10F1
FG
FG
白
黄
青
赤
橙
黒
M
白
青
黄
赤
48F1
10F1
X430
:4
:2
:1
:3
:2
:1
:3
M43
:4
X371
:2
:1
:3
X371
:2
:1
:2
:2
Ｌコンベア幅軸
原点
Lコンベア幅軸
Ｒコンベア幅軸
原点
Rコンベア幅軸
Rコンベア基板搬送１
Rコンベア基板搬送２
緊急停止
3-25
5OM-1501
0906-003-(M900WBB--2018)
基板搬送軸回路図 2
A45
5
6
3
4
2
1
5
6
3
4
2
1
5
6
3
4
2
1
5
6
3
4
2
1
CN2
CN3
CN4
CN5
CN7
CN8
CN9
CN10
3
4
5
2
1
NC
3
4
5
2
1
A
NC
B
A
B
3
4
5
2
1
A
NC
B
A
B
3
4
5
2
1
A
NC
B
A
B
1
2
4
3
7
8
6
5
N1
1
2
4
3
7
8
6
5
N2
ERR-
EMG-
ERR+
EMG+ 1
2
3
4
CN1
GND
GND
+V
COM B2
+V
COM A2
GND
+V
STOP
SEN+
DOWN
OT-
OT+
SEN-
STOP
SEN+
DOWN
OT-
OT+
SEN-
STOP
SEN+
DOWN
OT-
OT+
SEN-
STOP
SEN+
DOWN
OT-
OT+
SEN-
M41
1
2
3
4
CN6
GND
DC20～55V
A45-CN2
A45-CN4
A45-CN5
A45-CN7
A45-CN8
A45-CN9
A45-CN10
A45-CN6
A45-N1
A45-CN1
A45-CN3
A
B
A
B
M43
M43
M49
M49
M51
10A
24A7
A37-N2
(基板搬送軸ドライバ１)
+V
GND
信号線
A
+V
GND
+V
GND
信号線B
+V
GND
信号線A
+V
GND
+V
GND
信号線B
48F3
10F1
FG
48F3
10F1
M
:4
:2
:1
:3
白
青
黄
赤
M41
M
青
黄
赤
白
M
:4
:2
:1
:3
青
黄
赤
白
M
青
黄
赤
白
X490
:4
:2
:1
:3
X1490
:4
:2
:1
:3
:2
:1
:3
X510
:4
:2
:1
:3
:2
:1
:3
M51
:4
X1510
:4
X430
:4
:2
:1
:3
:2
:1
:3
:4
主回路電源
DC48V
テーブル基板搬送２
Lコンベア基板搬送１
テーブル基板搬送１
緊急停止
3-26
5OM-1501