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テーブル部 (Z 軸、基板上下軸 ) 記 号 名 称 記 号 名 称 B171 テーブル Z 軸原点 M17 テーブル Z 軸 サーボモータ B172 テーブル Z 軸 + オーバーラン M23 基板上下軸 サーボモータ B173 テーブル Z 軸 − オーバーラン B4C テーブル Z 軸 インタロック B4D テーブル Z 軸補正位置 B231 基板上下軸原点 B232 基板上下軸 − オーバーラン B233 基板上下軸 + オーバ…
基板チャック部
記 号 名 称 記 号 名 称
B251 テーブル幅軸原点 M25 テーブル幅軸モータ
B48 基板横クランプ前進限 M49 テーブル基板搬送 1
B49 幅異常検出 M51 テーブル基板搬送 2
0906-002
B49
B251
M51
B48
M25
B49
M49
2-5
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テーブル部 (Z 軸、基板上下軸 )
記 号 名 称 記 号 名 称
B171 テーブル Z 軸原点 M17 テーブル Z 軸
サーボモータ
B172 テーブル Z 軸
+ オーバーラン
M23 基板上下軸
サーボモータ
B173 テーブル Z 軸
− オーバーラン
B4C テーブル Z 軸
インタロック
B4D テーブル Z 軸補正位置
B231 基板上下軸原点
B232 基板上下軸
− オーバーラン
B233 基板上下軸
+ オーバーラン
0906-002
M23
M17
B232(D)
B233
B231(U)
B173
B4C
B4D
B172
B171
2-6
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基板認識カメラ (Y 軸、X 軸 )
記 号 名 称 記 号 名 称
B331 基板認識 Y 軸原点 M33 基板認識 Y 軸モータ
B334 基板認識 Y 軸回転原点 M35 基板認識 X 軸モータ
B46 基板認識 Y 軸インタ
ロック
B351 基板認識 X 軸原点
B353 基板認識 X 軸
− オーバーラン
B354 基板認識 X 軸回転原点
0906-002
M33
B354
M35
B46
B331
B334
B353
B351
2-7
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