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メカ廻り ( 背面、右側面 ) 記 号 名 称 記 号 名 称 S06 安全扉ロック解除 ( 後 ) M06 装置内ファン 1 H06 安全扉ロック解除 LED (後) M07 装置内ファン 2 S11 非常停止 ( 後面 ) U07 I/O PCB 0906-002 S06 H06 S1 1 M07 M06 U07 2-14 5OM-1501
メカ廻り ( 正面、左側面 )
記 号 名 称 記 号 名 称
S05 安全扉ロック解除 ( 前 ) Y54 基板横クランプ出側
H05 安全扉ロック解除 LED
(前)
Y55 基板横クランプ戻側
S12 安全扉 ( 前面 ) Y90 電空レギュレータ
S13 安全扉 ( クリーニング部 ) H24 タワー灯 ( 緑 ) 点灯
S14 安全扉 ( 後面 ) H25 タワー灯 ( 黄 ) 点灯
S15 エア圧検出 H26 タワー灯 ( 赤 ) 点灯
B4A 真空スイッチ H27 ブザー
U09 I/O PCB
0906-002
N80
S14
Y54
Y55
N82
N81
H26
H25
H24
H27
S12
S05
H05
U09
Y90
S13
B4A
S15
2-13
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メカ廻り ( 背面、右側面 )
記 号 名 称 記 号 名 称
S06 安全扉ロック解除 ( 後 ) M06 装置内ファン 1
H06 安全扉ロック解除 LED
(後)
M07 装置内ファン 2
S11 非常停止 ( 後面 ) U07 I/O PCB
0906-002
S06
H06
S11
M07
M06
U07
2-14
5OM-1501
メカ廻り ( パネル )
記 号 名 称 記 号 名 称
S01 電源入り S04 STOP
H01 電源入り LED S10 非常停止 ( 操作パネル )
S03 START H00 タッチパネルモニタ
H03 START LED
0906-002
S10
H00
S01
H01
S03
H03
S04
2-15
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